本文主要研究内容
作者张成悌,付天坤,龚柯安（2019）在《再论立式移相平面干涉仪》一文中研究指出：文章首先指出移相平面干涉仪普遍存在的问题,即该仪器测量平面度时存在量值不统一的问题,其测量不确定度与其测量重复度极不相匹配,主要是该仪器给不出其标准平晶在相应各点的多截面平面度偏差,无法进行修正,而是用控制标准平晶的平面度的峰谷值小于1/10或1/20个干涉条纹来保证其质量;文章还指出一种新开发的立式移相平面干涉仪与一般的移相平面干涉仪同样存在标准平晶的平面度偏差不能进行修正的问题;文章最后提出该仪器提高测量不确定度的改进方法。
Abstract
wen zhang shou xian zhi chu yi xiang ping mian gan she yi pu bian cun zai de wen ti ,ji gai yi qi ce liang ping mian du shi cun zai liang zhi bu tong yi de wen ti ,ji ce liang bu que ding du yu ji ce liang chong fu du ji bu xiang pi pei ,zhu yao shi gai yi qi gei bu chu ji biao zhun ping jing zai xiang ying ge dian de duo jie mian ping mian du pian cha ,mo fa jin hang xiu zheng ,er shi yong kong zhi biao zhun ping jing de ping mian du de feng gu zhi xiao yu 1/10huo 1/20ge gan she tiao wen lai bao zheng ji zhi liang ;wen zhang hai zhi chu yi chong xin kai fa de li shi yi xiang ping mian gan she yi yu yi ban de yi xiang ping mian gan she yi tong yang cun zai biao zhun ping jing de ping mian du pian cha bu neng jin hang xiu zheng de wen ti ;wen zhang zui hou di chu gai yi qi di gao ce liang bu que ding du de gai jin fang fa 。
论文参考文献
论文详细介绍
论文作者分别是来自计量技术的张成悌,付天坤,龚柯安，发表于刊物计量技术2019年08期论文，是一篇关于立式移相干涉仪论文,卧式移相干涉仪论文,多截面平面度论文,球面度论文,球面样板论文,计量技术2019年08期论文的文章。本文可供学术参考使用，各位学者可以免费参考阅读下载，文章观点不代表本站观点，资料来自计量技术2019年08期论文网站，若本站收录的文献无意侵犯了您的著作版权，请联系我们删除。
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