导读:本文包含了微位移驱动器论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:纳米级位移驱动器,关键技术,研究现状,发展趋势
微位移驱动器论文文献综述
刘念聪,陈建龙,耿伟涛,王进[1]（2017）在《纳米级位移驱动器及其关键技术研究》一文中研究指出分析了国内外纳米级位移驱动器的研究现状及发展中存在的问题,并在此基础上总结了纳米级位移驱动器的关键技术,指出了该技术的未来发展方向。(本文来源于《工具技术》期刊2017年08期）
吕雪军,李国平,邱辉,李剑锋[2]（2017）在《微位移系统中压电陶瓷驱动器迟滞建模》一文中研究指出针对超精密微位移系统中压电陶瓷驱动器的迟滞非线性问题,提出了一种基于遗传反向传播(BP)神经网络的压电陶瓷迟滞非线性建模方法。通过电涡流位移传感器获取压电陶瓷驱动器不同电压值下所对应的位移值;利用六次多项式拟合获得迟滞的数学模型,从而建立基于遗传BP神经网络的迟滞模型。实验结果显示:该迟滞模型在神经网络测试下的最大误差为0.082 1μm,平均绝对误差为0.015 8μm。表明,所建的迟滞模型能够较精确地反映出压电陶瓷驱动器的迟滞特性,同时为微位移控制系统设计提供了一定的理论基础。(本文来源于《传感器与微系统》期刊2017年04期）
舒贻胜[3]（2017）在《基于静压膨胀原理的微位移驱动器研究》一文中研究指出针对在精密加工领域存在的微位移驱动问题,本文提出了一种新的基于静压膨胀原理的微位移驱动器。在理论分析的基础上设计并试制了静压膨胀式微位移驱动器,用有限元方法对其主要性能进行分析,然后对驱动器的特性进行了试验研究。首先,建立了受静压作用的圆形薄板简化分析模型,根据薄板的弹性曲面微分方程推导出薄板最大位移和主要结构参数的关系式,为驱动器液压腔体的结构设计提供初始参数选择依据,在此基础上设计了圆柱形腔体静压膨胀式微位移驱动器。其次,对静压膨胀式微位移驱动器单元进行了有限元分析,主要包括位移输出特性和接触刚度特性。通过对圆柱形腔体驱动单元的分析得到输出位移大小与腔体压力大小成线性关系,在该类型腔体的基础上提出了几种改进型结构的腔体,经过分析对比得出长圆柱内凸型腔体的驱动器在输出特性和应力分布方面性能更佳。此外,通过建立刚度分析有限元模型,对两种不同腔体分别进行了分析对比,获取接触刚度的变化规律和与液体压力大小的关系曲线,为如何提高驱动器的刚度提供了途径。为使微位移驱动器获得最佳输出性能,在初步设计的基础上对其进行了优化设计,对影响驱动单元特性的主要参数进行了灵敏度分析,得到对其性能影响较大的几个参数为腔体半径、薄壁厚度和内侧凸起厚度,并对驱动器输出特性与主要参数的关系一一进行了分析,为如何通过调整腔体尺寸改善其输出特性提供了依据。通过建立优化模型对驱动单元进行优化,得到一组优化参数使微位移驱动器综合性能得到大幅提升。最后,设计了试验台对微位移驱动器的主要性能进行试验研究,结果表明输出位移大小均与压力呈线性关系,接触刚度试验结果也与理论分析结果有较高的一致性,进一步验证了理论分析的合理性。对于驱动器因接触刚度有限而导致输出位移精确度下降的问题,本文设计了一套微位移闭环反馈控制系统,采用基于PLC的PID控制算法对输出位移大小进行调节,经过不断地参数整定和试验,最终控制性能达到了预期目标。理论分析和试验结果表明,静压膨胀式微位移执行器输出位移可控、精度高、重复性高并具有较高刚度,由于采用了微位移闭环控制系统,输出的精确性和动态特性达到了预期目标。(本文来源于《浙江大学》期刊2017-03-01）
唐玉娟,杨忠,司海飞[4]（2016）在《一种MEMS压电大位移驱动器设计分析》一文中研究指出以压电双晶片为研究对象,设计出了4种结构形式的位移驱动器,并对设计的4种位移驱动器进行了性能分析,发现压电双晶梁的结构简单,但输出位移最大;对简单压电双晶梁进行了研究,分析了各因素对输出位移的影响,最终确定了合理的结构尺寸和弹性垫片的选用材料。设计的简单压电双晶梁输出位移达到223μm,满足至少200μm的输出位移要求,为驱动某引信安全系统中的扁平MEMS结构提供了一种简便可行的方案。(本文来源于《金陵科技学院学报》期刊2016年04期）
张礼华,王康,王树林[5]（2016）在《气动式微位移驱动器的结构设计及其性能分析》一文中研究指出为便于精密机床的微进给控制,研究了一种新型的气压式微位移驱动器。根据微驱动器的工作原理,在简化模型的基础上,对驱动器进行了结构设计,用有限元方法分析了微驱动器与微驱动台的主要性能,并且采用实验验证了该设计的合理性。研究结果表明,该驱动器结构简单、可靠,具有良好的输入输出线性度,耦合位移很小,是一种良好的二维可控驱动方式,在精密加工与精密测量中有着广阔的应用前景。(本文来源于《液压与气动》期刊2016年12期）
程学亮,王树林,俞琳,张礼华[6]（2016）在《基于压电纤维的微位移驱动器的研究》一文中研究指出基于压电纤维复合材料特性研究,设计了一种新型的压电式微位移驱动器,它能够实现60μm的行程和亚微米量级的定位精度。对驱动器的电压-位移特性、分辨率以及迟滞和蠕变特性进行了实验研究,研究表明,相比于传统的压电陶瓷式微位移驱动器,这种新型的压电纤维微位移驱动器拥有更大的行程和更好的位移线性关系。本研究对压电纤维复合材料在微驱动方面的研究奠定了理论基础。(本文来源于《现代制造工程》期刊2016年10期）
章亚男,葛磐,王成刚,钱晋武,沈林勇[7]（2014）在《用于光栅拼接的微位移驱动器的精度分析》一文中研究指出为了满足大尺寸衍射光栅拼接调整架精密调整的需求,设计了一种机械式微位移驱动器,它能够实现十几mm的大行程和纳米量级的定位精度。根据驱动器各零部件的性能参数和技术指标,分析计算了影响驱动器运动分辨率的因素及其大小。通过对机构爬行现象的分析,近似计算出由于导轨间动静摩擦系数不同导致的爬行量的大小。实验测试结果显示,驱动器的运动分辨率可达到10nm,运动过程中具有很好的重复性,而且驱动器可以长时间保持很好的稳定性。该研究结论对后期光栅调整架的设计具有很大的参考价值。(本文来源于《电子测量技术》期刊2014年08期）
张翔,孙树文,樊文刚,叶佩青[8]（2014）在《超磁致伸缩微位移驱动器设计》一文中研究指出针对超磁致伸缩材料,设计一种超磁致伸缩微位移驱动器并实现对其控制。在分析超磁致伸缩材料工作特性和超磁致伸缩驱动器工作原理的基础上,确定超磁致伸缩驱动器的结构参数,并应用有限元软件对超磁致伸缩驱动器的机械结构进行电磁场分析,比较无偏置磁场和含偏置磁场下超磁致伸缩材料所处位置的平均磁场强度,验证驱动器机械结构的合理性。同时设计压控电流源,利用基于数字信号处理器的控制器中数模转换电路控制压控电流源,使激励线圈配合偏置线圈产生所需磁场。实验表明,在给定预紧力和偏置磁场条件下,超磁致伸缩材料在2A激励电流下可输出行程为27.1μm,位移精度0.1μm,磁滞回线的平均厚度为3.29μm,验证了超磁致伸缩驱动器结构设计的合理性。(本文来源于《机械设计与制造》期刊2014年08期）
公涛,李国康[9]（2014）在《超磁致伸缩材料微位移驱动器的实验研究》一文中研究指出针对超磁致伸缩材料微位移驱动器在精密定位控制中存在的迟滞和位移非线性等不足,对超磁致伸缩材料微位移驱动器进行实验研究,介绍了微位移驱动器中预紧机构和放大机构的设计理论、设计过程和研究方法。研究结果表明:微位移驱动器的控制精度高、重复性好且适用范围较大。(本文来源于《机械工程与自动化》期刊2014年03期）
刘泊,郭建英,孙永全[10]（2013）在《压电陶瓷微位移驱动器建模与控制》一文中研究指出考虑利用白光干涉仪进行表面叁维形貌测量时压电陶瓷(PZT)的蠕变效应对微位移驱动器位移精度的影响,提出了一种沿参考镜光轴方向提高该驱动器位移精度的方法。系统研究了该驱动器的位移检测回路、PID闭环控制以及蠕变补偿控制;利用光电位置传感器和光学杠杆调节位移检测回路,将压电陶瓷驱动器微位移反馈至控制系统,建立PID闭环控制。充分考虑了PZT蠕变特性对测量过程的影响,建立了"电压蠕变"补偿模型,实现了基于PID闭环控制与蠕变补偿控制相结合的复合控制方法。利用XL-80激光干涉仪测量压电陶瓷驱动器在PID闭环控制和复合控制二种情况下的微位移,实验结果显示前者位移误差为0.007μm,后者位移误差为0.005μm。结果表明该方法可有效克服压电陶瓷迟滞非线性和蠕变对测量结果的影响,满足表面叁维形貌测量的高精度要求。(本文来源于《光学精密工程》期刊2013年06期）
微位移驱动器论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
针对超精密微位移系统中压电陶瓷驱动器的迟滞非线性问题,提出了一种基于遗传反向传播(BP)神经网络的压电陶瓷迟滞非线性建模方法。通过电涡流位移传感器获取压电陶瓷驱动器不同电压值下所对应的位移值;利用六次多项式拟合获得迟滞的数学模型,从而建立基于遗传BP神经网络的迟滞模型。实验结果显示:该迟滞模型在神经网络测试下的最大误差为0.082 1μm,平均绝对误差为0.015 8μm。表明,所建的迟滞模型能够较精确地反映出压电陶瓷驱动器的迟滞特性,同时为微位移控制系统设计提供了一定的理论基础。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
微位移驱动器论文参考文献
[1].刘念聪,陈建龙,耿伟涛,王进.纳米级位移驱动器及其关键技术研究[J].工具技术.2017
[2].吕雪军,李国平,邱辉,李剑锋.微位移系统中压电陶瓷驱动器迟滞建模[J].传感器与微系统.2017
[3].舒贻胜.基于静压膨胀原理的微位移驱动器研究[D].浙江大学.2017
[4].唐玉娟,杨忠,司海飞.一种MEMS压电大位移驱动器设计分析[J].金陵科技学院学报.2016
[5].张礼华,王康,王树林.气动式微位移驱动器的结构设计及其性能分析[J].液压与气动.2016
[6].程学亮,王树林,俞琳,张礼华.基于压电纤维的微位移驱动器的研究[J].现代制造工程.2016
[7].章亚男,葛磐,王成刚,钱晋武,沈林勇.用于光栅拼接的微位移驱动器的精度分析[J].电子测量技术.2014
[8].张翔,孙树文,樊文刚,叶佩青.超磁致伸缩微位移驱动器设计[J].机械设计与制造.2014
[9].公涛,李国康.超磁致伸缩材料微位移驱动器的实验研究[J].机械工程与自动化.2014
[10].刘泊,郭建英,孙永全.压电陶瓷微位移驱动器建模与控制[J].光学精密工程.2013