论文摘要
论文采用中国电子科技集团第24所的B6035双极工艺设计了12位电压输出型D/A转换器SDA87HA,该工艺是一种双极对通隔离工艺,单层金属布线,共十三次光刻版（包括Cr-Si薄膜电阻）,全部采用负胶接触光刻。该工艺的最小特征尺寸为6μm,外延层厚度12μm,电阻率2.5Ωcm。论文对SDA87HA D/A转换器的功能进行了分析,并对数据输入电路单元,权电流发生网络和电流开关,基准源电路,运算放大器这些单元电路进行了设计,文中着重分析和设计了D/A转换器的基准源电路和运算放大器电路。SDA87HA D/A转换器中的齐纳基准源采用“隐埋齐纳”式,这种结构稳定性好,输出电流能力高,并且采用齐纳互补电流开关电路结构和分段式电阻网络结构,保证了高速度和高精度的要求。为了提高抗干扰的能力,在运算放大器部分全部采用双极工艺。整个电路的关键部分全部采用可供激光修调的SiCr薄膜电阻,以保证高的精确性。设计的SDA87HA D/A转换器有0～5V、0～10V、-2.5V～+2.5V、-5V～+5V、-10V～+10V等几种输出应用范围,大大地增强了它的应用范围,并且操作十分简便。