半导体工厂测试车间布置研究

论文摘要

随着半导体产业的不断发展与壮大,诞生了很多基于半导体生产的新鲜产业。MEMSIC,就是这样一家从事微机电系统设计与生产的企业。经过8年的艰苦创业,工厂不断扩大,于是工厂实施的科学布局问题并应运而生。车间布局设计是制造系统设计的重要内容之一,车间布局的优劣直接决定着产品质量、生产率和经济效益。SLP(系统布置规划)是工业工程领域中工厂设计的一项技术。它在设计过程中将各单元的相互关系通过量化的指标表现出来,并以此为基础安排布局。作为一个特殊的半导体工厂,MEMS测试车间的布局,因为其特殊的工艺设备因而具备一定的特殊性。本课题正是针对这一项目背景,从系统设施布局(SLP)这一基本的理论体系出发,展开了对半导体测试车间布局需求、要素、物流关系、非物流关系等方面的分析,给出了几个布局的预选方案,同时采用系统因素评价法对三个方案进行评估,优选,最后对最优方案进行了详细布局。实践证明,这样的思路和方法是正确的,成功的。我们可以将这样的研究进一步拓展到整个MEMS半导体工厂,乃至相似的行业。

论文目录

• 摘要
• ABSTRACT
• 第一章 绪论
• 1.1 半导体车间布局概述
• 1.2 课题提出的背景和意义
• 1.2.1 企业概况
• 1.2.2 课题背景和意义
• 第二章 车间布局的研究现状
• 2.1 车间布局的内容和意义
• 2.2 车间布局的输入信息
• 2.3 系统布置法（SLP）
• 2.3.1 系统布置法的产生
• 2.3.2 系统布置法的研究现状
• 2.3.3 SLP 实施的阶段与步骤
• 第三章 SLP 在半导体测试车间布局中的应用
• 3.1 半导体工厂车间布局发展现状
• 3.1.1 半导体设备布局一般原则
• 3.1.2 半导体设备布局发展现状
• 3.2 半导体测试车间功能简介
• 3.2.1 测试间主要工序
• 3.2.2 测试间主要环境实施
• 3.3 SLP 基本要素分析
• 3.3.1 物流对象P
• 3.3.2 产量Q
• 3.3.3 工艺过程R
• 3.3.4 辅助服务部门S
• 3.3.5 时间安排T
• 3.4 SLP 的实施
• 3.4.1 加工中心位置相关图
• 3.4.2 加工中心面积相关图
• 3.4.3 方案评价
• 第四章 半导体测试车间详细布局与生产控制
• 4.1 测试车间详细布局
• 4.1.1 常温测试区
• 4.1.2 高低温测试区
• 4.2 测试车间生产控制
• 4.2.1 消费类产品的生产控制
• 4.2.2 工业类产品的生产控制
• 第五章 总结与展望
• 5.1 全文总结
• 5.2 发展展望
• 参考文献
• 攻读硕士学位期间已发表或录用的论文
• 致谢