肖超:不同模式纳秒激光诱导单晶硅损伤特性研究论文

肖超:不同模式纳秒激光诱导单晶硅损伤特性研究论文

本文主要研究内容

作者肖超,王毕艺,官上洪,张发旺,杨静,陈怡妍,王钰倩,邱荣,郭德成,蒋勇(2019)在《不同模式纳秒激光诱导单晶硅损伤特性研究》一文中研究指出:采用1 064 nm激光器在单纵模和多纵模模式下对单晶硅材料的损伤特性进行研究,测试和分析单晶硅损伤阈值和损伤形貌差异,损伤机理以及激光模式对周期性结构的影响。结果表明,激光模式对单晶硅材料的损伤阈值和损伤面积的影响小。因单晶硅材料对激光的强吸收,直接导致单晶硅表面的熔融烧蚀破坏、热应力和等离子体的产生。随着激光能量的增大,由于热应力和等离子体冲击波的存在,使损伤面积以指数形式增大,熔融物质形成喷溅而后消失。

Abstract

cai yong 1 064 nmji guang qi zai chan zong mo he duo zong mo mo shi xia dui chan jing gui cai liao de sun shang te xing jin hang yan jiu ,ce shi he fen xi chan jing gui sun shang yu zhi he sun shang xing mao cha yi ,sun shang ji li yi ji ji guang mo shi dui zhou ji xing jie gou de ying xiang 。jie guo biao ming ,ji guang mo shi dui chan jing gui cai liao de sun shang yu zhi he sun shang mian ji de ying xiang xiao 。yin chan jing gui cai liao dui ji guang de jiang xi shou ,zhi jie dao zhi chan jing gui biao mian de rong rong shao shi po huai 、re ying li he deng li zi ti de chan sheng 。sui zhao ji guang neng liang de zeng da ,you yu re ying li he deng li zi ti chong ji bo de cun zai ,shi sun shang mian ji yi zhi shu xing shi zeng da ,rong rong wu zhi xing cheng pen jian er hou xiao shi 。

论文参考文献

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  • 论文详细介绍

    论文作者分别是来自激光杂志的肖超,王毕艺,官上洪,张发旺,杨静,陈怡妍,王钰倩,邱荣,郭德成,蒋勇,发表于刊物激光杂志2019年11期论文,是一篇关于纳秒激光论文,激光模式论文,单晶硅论文,周期性条纹论文,损伤演化论文,激光杂志2019年11期论文的文章。本文可供学术参考使用,各位学者可以免费参考阅读下载,文章观点不代表本站观点,资料来自激光杂志2019年11期论文网站,若本站收录的文献无意侵犯了您的著作版权,请联系我们删除。

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