硅基纳米线阵列波导光栅的研究

硅基纳米线阵列波导光栅的研究

论文摘要

波分复用技术可以在单根光纤中复用多路不同波长的信号,极大地提高了光纤通信速率和通信容量。而阵列波导光栅(AWG)由于损耗低、结构紧凑、易于与其他器件集成等优点,成为波分复用与解复用器的首选器件。基于纳米线的AWG由于SOI的强限制作用,器件尺寸可以做得很小,非常有利于器件的集成,近年来成为人们的研究热点。但是因为纳米线波导的有效折射率对波导尺寸波动十分敏感,而且AWG器件阵列波导部分长度很大,因此在波导制作过程中即使引入很小的波导宽度随机误差就足以使得器件光相位紊乱,导致AWG器件串扰性能极度恶化。本文研究了如何设计纳米线AWG器件并降低工艺误差带来的串扰,主要做了以下工作:(1)介绍了多种计算AWG中的关键波导结构模式有效折射率的方法,如平板波导、矩形波导、脊波导,并给出了脊波导的单模条件;(2)创新性提出了通过级联波导光栅滤波器的方法来压制AWG响应谱旁瓣,从而显著改善AWG的串扰性能。这种方法不需要增加额外工艺流程,级联滤波器长度仅为54μm,因此能保持器件结构紧凑。通过模拟验证级联滤波器后AWG串扰降低了15dB;(3)分析比较了AWG及波导光栅器件的几种不同建模方法的优缺点,并给出了各自的计算结果;(4)详细介绍了如何确定AWG及光栅滤波器的结构参数,并结合实例讲述了如何在串扰方面对器件的各参数进行总体优化;(5)制作并测试了8×8信道的AWG,测出的信道间隔为3.2nm,与设计值相同,但串扰仅为-4dB。同时评估了工艺误差对AWG及光栅滤波器串扰性能的影响,模拟发现即便几个纳米的平均宽度波动都将是串扰增大十几个分贝。而对于滤波器,误差的出现将使损耗增大及引起中心波长漂移。

论文目录

  • 摘要
  • Abstract
  • 1 绪论
  • 1.1 通信技术发展现状及波分复用技术
  • 1.2 阵列波导光栅复用/解复用器件
  • 1.3 纳米线AWG 发展现状
  • 1.4 本文的主要工作
  • 2 纳米光波导的模式分析与设计
  • 2.1 波导模式折射率的求解
  • 2.2 脊波导的单模条件
  • 2.3 本章小结
  • 3 器件结构及工作原理
  • 3.1 AWG 级联光栅滤波器结构
  • 3.2 阵列波导光栅的工作原理
  • 3.3 波导光栅滤波器的基本工作原理
  • 3.4 AWG 级联滤波光栅的工作原理
  • 3.5 本章小结
  • 4 AWG 及光栅滤波器的理论建模
  • 4.1 改进的有效折射率法
  • 4.2 AWG 的理论建模
  • 4.3 滤波器的建模
  • 4.4 本章小结
  • 5 器件的设计与优化
  • 5.1 AWG 的设计与优化
  • 5.2 光栅滤波器的设计与优化
  • 5.3 本章小结
  • 6 实验结果及工艺误差分析
  • 6.1 实验结果及分析
  • 6.2 工艺误差分析
  • 6.3 本章小结
  • 7 总结与展望
  • 7.1 本论文工作总结
  • 7.2 未来工作展望
  • 致谢
  • 参考文献
  • 相关论文文献

    • [1].槽型波导耦合纳米结构增强拉曼光谱[J]. 光学学报 2020(03)
    • [2].弯曲波导研究进展及其应用[J]. 中国光学 2017(02)
    • [3].新型缝隙波导的研究与分析[J]. 中国传媒大学学报(自然科学版) 2017(02)
    • [4].波导“迷航”[J]. 创新时代 2013(03)
    • [5].用于频率分离的介质填充弯曲波导的设计[J]. 电子世界 2017(06)
    • [6].浅谈波导的几何结构与导行波速的关系[J]. 电子制作 2017(16)
    • [7].表面等离子体激元波导测量材料的折射率[J]. 山东师范大学学报(自然科学版) 2016(02)
    • [8].一种基于径向波导的K波段宽带功率合成器[J]. 制导与引信 2014(03)
    • [9].波导“战斗机”起飞坠落史[J]. 今日南国 2008(18)
    • [10].控制殷钢波导变形的工艺方法[J]. 电子工艺技术 2009(04)
    • [11].一种低损耗的对称双楔形太赫兹混合表面等离子体波导[J]. 物理学报 2020(07)
    • [12].基于拓扑单向波导的电磁诱导透明效应研究[J]. 光学仪器 2020(05)
    • [13].用于光谱吸收式气体传感的波导吸收池的耐久特性[J]. 光学学报 2020(19)
    • [14].裂缝波导加工变形控制技术研究[J]. 电子世界 2014(01)
    • [15].玻璃基交叉波导的损耗特性研究[J]. 光电子·激光 2015(12)
    • [16].毫米波60W波导空间功率合成放大器研究[J]. 真空电子技术 2016(01)
    • [17].曾占国产手机半壁江山全国销量第一 波导:战斗机能否重新起飞?[J]. 新商务周刊 2013(21)
    • [18].基于级联T型表面等离子体波导的双色分束器(英文)[J]. 黑龙江大学自然科学学报 2013(06)
    • [19].0.22THz折叠波导返波管设计[J]. 太赫兹科学与电子信息学报 2014(05)
    • [20].毫米波折叠波导行波管输入输出过渡波导设计[J]. 强激光与粒子束 2010(05)
    • [21].锥形空心银波导的聚焦特性[J]. 物理学报 2010(09)
    • [22].波导折翼 转造汽车[J]. 中国市场 2008(11)
    • [23].波导:“战斗机”迫降[J]. 成功营销 2008(10)
    • [24].基于狭缝波导的聚合物基微环折射率传感器研究[J]. 红外与激光工程 2020(01)
    • [25].裂缝波导表面贴膜工艺研究[J]. 电子工艺技术 2017(05)
    • [26].Yb:YVO_4晶体波导传播特性研究[J]. 青岛大学学报(自然科学版) 2016(01)
    • [27].过模波导定向耦合器设计的探讨[J]. 真空电子技术 2014(06)
    • [28].基于并行FDTD方法分析表面等离子波导的特性[J]. 电波科学学报 2015(04)
    • [29].一种抑制波导窄边缝隙阵列天线交叉极化的方法[J]. 雷达与对抗 2014(01)
    • [30].双波导耦合效应与能量转移[J]. 陕西师范大学学报(自然科学版) 2012(02)

    标签:;  ;  ;  ;  ;  

    硅基纳米线阵列波导光栅的研究
    下载Doc文档

    猜你喜欢