本文主要研究内容
作者李泾渭,辛青,侯昌伦（2019）在《通过傅里叶变换测量多表面面形》一文中研究指出：为了更简便、准确地测量透明平行板,提出了一种基于区域生长算法与傅里叶变换的单幅三表面干涉条纹相位恢复方法。通过傅里叶变化将三表面干涉条纹图由空域变化到频谱域。不同表面的干涉条纹在频谱域中对应的位置不同,通过改变区域生长算法中的参数,提取出合适的区域,最终得到面形。该方法可以由单幅三表面干涉条纹图同时得到透明平行板前后两个表面的面形。分析了由算法求得的表面面形的误差,通过叠加分离的双表面干涉图与原三条纹图进行比较,得到相应的误差分布图,通过误差分布图可以改善算法的精度。将得到的面形与Zygo干涉仪得到的面形进行对比,发现该方法测量精度较高,其相位提取误差PV值小于0.12λ,RMS值小于0.065λ;重复性得到验证,其重复率可靠度优于λ/100。测量到的面形与物体真实面形接近,测量方法更加简便。
Abstract
wei le geng jian bian 、zhun que de ce liang tou ming ping hang ban ,di chu le yi chong ji yu ou yu sheng chang suan fa yu fu li xie bian huan de chan fu san biao mian gan she tiao wen xiang wei hui fu fang fa 。tong guo fu li xie bian hua jiang san biao mian gan she tiao wen tu you kong yu bian hua dao pin pu yu 。bu tong biao mian de gan she tiao wen zai pin pu yu zhong dui ying de wei zhi bu tong ,tong guo gai bian ou yu sheng chang suan fa zhong de can shu ,di qu chu ge kuo de ou yu ,zui zhong de dao mian xing 。gai fang fa ke yi you chan fu san biao mian gan she tiao wen tu tong shi de dao tou ming ping hang ban qian hou liang ge biao mian de mian xing 。fen xi le you suan fa qiu de de biao mian mian xing de wu cha ,tong guo die jia fen li de shuang biao mian gan she tu yu yuan san tiao wen tu jin hang bi jiao ,de dao xiang ying de wu cha fen bu tu ,tong guo wu cha fen bu tu ke yi gai shan suan fa de jing du 。jiang de dao de mian xing yu Zygogan she yi de dao de mian xing jin hang dui bi ,fa xian gai fang fa ce liang jing du jiao gao ,ji xiang wei di qu wu cha PVzhi xiao yu 0.12λ,RMSzhi xiao yu 0.065λ;chong fu xing de dao yan zheng ,ji chong fu lv ke kao du you yu λ/100。ce liang dao de mian xing yu wu ti zhen shi mian xing jie jin ,ce liang fang fa geng jia jian bian 。
论文参考文献
论文详细介绍
论文作者分别是来自光学精密工程的李泾渭,辛青,侯昌伦，发表于刊物光学精密工程2019年06期论文，是一篇关于干涉测量论文,傅里叶变换论文,相位恢复论文,多表面干涉条纹论文,平行平板论文,区域生长论文,光学精密工程2019年06期论文的文章。本文可供学术参考使用，各位学者可以免费参考阅读下载，文章观点不代表本站观点，资料来自光学精密工程2019年06期论文网站，若本站收录的文献无意侵犯了您的著作版权，请联系我们删除。
标签：干涉测量论文; 傅里叶变换论文; 相位恢复论文; 多表面干涉条纹论文; 平行平板论文; 区域生长论文; 光学精密工程2019年06期论文;