论文摘要
在微电子和微机电系统(MEMS)设计与制造工艺过程中,目前广泛采用了高深宽比的深沟槽结构。传统的测量方式很难甚至无法实现对深沟槽深度的测量,因此需要采用光学的方法对深沟槽结构的尺寸进行精确检测。本学位论文在国家高技术研究发展计划(863计划)的资助下,研制高深宽比微纳深沟槽结构基于模型的红外反射谱测量方法与设备。主要工作如下:提出了一种基于模型的傅立叶变换红外反射谱(FTIR)测量微纳深沟槽结构的方法,设计了整个测量系统的软硬件体系,重点调试并校正光学系统,结合专门的光学设计,提出了消除硅片背面反射光干扰的有效途径。将红外光源、反射探测光路、迈克耳逊干涉仪、控制计算机等硬件集成在一起,在此基础上,完成了红外反射谱测量系统原理样机的研制。在MATLAB开发环境中进行测量系统软件的开发工作。通过编制信号采集软件,使系统能采集到高信噪比的红外光谱图。利用测量系统软件完成理论反射谱与测量反射谱的拟合和参数提取。在分别完成测量系统硬件和软件的基础上,开展软硬件系统的集成调试和性能优化。对常规薄膜堆栈结构样品进行测量实验,分析并验证算法的可行性和有效性。对测量系统的各种误差因素进行理论分析,进一步优化光学设计,最大限度减少硬件系统误差。通过分析标准件测量结果,对测量系统进行精密标定,提高系统的测量精度和稳定性。本论文的内容为DRAM深沟槽结构的基于模型的傅立叶变换红外反射谱测量设备研制与实验方法研究。通过硬件结构设计和测量理论研究,以及与实验测量相结合,完成傅立叶变换红外反射谱测量系统样机的研制与实验调试。
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标签：傅立叶变换红外光谱仪论文; 红外反射谱论文; 动态随机存储器论文; 深沟槽结构论文;