论文摘要
真空镀膜机是一种直流磁控反应溅射镀膜机,主要应用于太阳能真空管的制造过程。通过PLC软件程序实现电枢降压软起动。通过EasyView触摸屏进行参数设置、显示、工艺流程的全程监控以及开关量的操作,体现以人为本的设计思想,提高了系统的可靠性。电气控制系统具有参数设置、工艺流程自动/手动控制、故障报警和保护等功能。文中对于控制系统软、硬件结构进行了详细的论证分析和相应的设计。在设计中,首先利用西门子公司提供的仿真软件对PLC软件程序进行了仿真分析,然后在生产现场对控制系统进行整体调试,最后生产实践应用中证实了该系统的可行性。可编程控制器:Programmable Controller,是以微处理机为基础,综合了计算机技术、自动控制技术和通信技术等现代科技而发展起来的一种新型工业自动控制装置,是将计算机技术应用于工业控制领域的新产品。随着技术发展,现代可编程控制器以其极高的可靠性、丰富的编程语言、实用的编程方法、强大的功能、优良的性能、良好的耐恶劣环境的能力而成为工业控制领域中增长速度最迅猛的工业控制设备。新一代PCC(Programmable Computer Controller可编程计算机控制器)已经能胜任大型集散控制和复杂的过程控制。本论文正是针对上述问题,以可编程控制器在纳米真空镀膜中的自动控制应用为主要的研究对象,在深入分析可编程控制器原理的基础上,对控制过程和应用问题作了创新性和探索性研究。主要内容为:(1)详细研究了可编程控制器的内部结构和控制原理。(2)详细研究了真空纳米镀膜自动控制设计和应用过程,采用高级编程语言编程。
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