本文主要研究内容
作者张璇,宋德林,张涛,刘乾,耿鹏武（2019）在《光学表面微缺陷的高对比度暗场成像检测方法》一文中研究指出：提出了一种新型的暗场显微成像方法(环状孔径显微术,Circular-Aperture Microscopy,CAM)用于光学加工表面的缺陷检测。该方法的关键在于,在CAM物镜中心放置一个遮挡片用于消除照明直射光的影响,而缺陷的散射光能够通过物镜的环状透射区域形成高对比度的图像。对划痕和麻点标准比对板、分辨率测试板、微粒悬浊液等样品的成像结果表明,CAM具有原理简单、对比度高、分辨率高、精度高的优势,能够为光学表面加工中的缺陷检测提供一种有效的方法。
Abstract
di chu le yi chong xin xing de an chang xian wei cheng xiang fang fa (huan zhuang kong jing xian wei shu ,Circular-Aperture Microscopy,CAM)yong yu guang xue jia gong biao mian de que xian jian ce 。gai fang fa de guan jian zai yu ,zai CAMwu jing zhong xin fang zhi yi ge zhe dang pian yong yu xiao chu zhao ming zhi she guang de ying xiang ,er que xian de san she guang neng gou tong guo wu jing de huan zhuang tou she ou yu xing cheng gao dui bi du de tu xiang 。dui hua hen he ma dian biao zhun bi dui ban 、fen bian lv ce shi ban 、wei li xuan zhuo ye deng yang pin de cheng xiang jie guo biao ming ,CAMju you yuan li jian chan 、dui bi du gao 、fen bian lv gao 、jing du gao de you shi ,neng gou wei guang xue biao mian jia gong zhong de que xian jian ce di gong yi chong you xiao de fang fa 。
论文参考文献
论文详细介绍
论文作者分别是来自机电技术的张璇,宋德林,张涛,刘乾,耿鹏武，发表于刊物机电技术2019年01期论文，是一篇关于光学元件加工论文,缺陷检测论文,暗场显微成像论文,机电技术2019年01期论文的文章。本文可供学术参考使用，各位学者可以免费参考阅读下载，文章观点不代表本站观点，资料来自机电技术2019年01期论文网站，若本站收录的文献无意侵犯了您的著作版权，请联系我们删除。
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