论文摘要
随着科技和社会的快速发展,国内市场对ICP扫描光谱仪的需求越来越大,但目前在国内销售的扫描光谱仪大多数为进口产品,这样在设备使用和日常维护中都存在着各种不足。为了方便国内用户的使用,有必要自行研制开发ICP扫描光谱仪。本论文首先较为详细地阐述了ICP(感应耦合等离子体)扫描光谱仪的组成结构以及工作原理。ICP扫描光谱仪是整体结构复杂、技术含量很高的光谱分析仪器,主要由四部分组成:光源、进样系统、分光系统和测量与处理系统。ICP光源有两种:一种是自激式高频发生器,一种是它激式高频发生器。本论文选用的是自激式高频发生器。进样系统由气路系统、等离子体炬管、雾化器和雾室等组成。分光系统主要由一块光栅和两块准直镜组成,光栅放置在光栅台上,由扫描机构带动光栅台转动光栅。扫描机构由步进电机、驱动器及蜗轮蜗杆组成。测量与处理系统是ICP扫描光谱仪中比较关键的一部分。本论文详细论述了测量与处理系统各个部分的结构、作用和扫描定位系数的计算。另外本论文还编写了整个分析软件,论文介绍了分析软件所实现的功能。最后我们对ICP扫描光谱仪进行了指标测试。实验数据表明,本论文所研究的ICP扫描光谱仪已实现了立项时提出的各项技术指标,在技术上已经达到了国内领先。
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