本文主要研究内容
作者乔泳彭,蒋百灵,丁郁航,张静（2019）在《基于脉宽参量的TiN纳米晶薄膜制备及其性能?》一文中研究指出：采用大功率脉冲溅射离子镀技术在不同脉宽条件下制备了一组TiN离子镀层,并通过XRD、SEM、AFM等手段对膜层的微观形貌、生长模式及相关力学性能进行了分析研究。结果表明:随着脉宽的增大,TiN膜层的瞬时沉积速率提高,膜层内部的晶化程度逐渐增强,薄膜晶粒尺寸有所增大,微观形貌显示为较典型的TiN(111)三角锥形以及柱状生长,颗粒尺寸及表面粗糙度均随脉宽的延长而增大,膜层整体无明显孔隙等缺陷存在。通过对H/E值的分析可以看出,较小脉宽条件下制备的膜层综合性能较好、可以获得较高的膜层硬度以及较大的硬度-模量比。
Abstract
cai yong da gong lv mai chong jian she li zi du ji shu zai bu tong mai kuan tiao jian xia zhi bei le yi zu TiNli zi du ceng ,bing tong guo XRD、SEM、AFMdeng shou duan dui mo ceng de wei guan xing mao 、sheng chang mo shi ji xiang guan li xue xing neng jin hang le fen xi yan jiu 。jie guo biao ming :sui zhao mai kuan de zeng da ,TiNmo ceng de shun shi chen ji su lv di gao ,mo ceng nei bu de jing hua cheng du zhu jian zeng jiang ,bao mo jing li che cun you suo zeng da ,wei guan xing mao xian shi wei jiao dian xing de TiN(111)san jiao zhui xing yi ji zhu zhuang sheng chang ,ke li che cun ji biao mian cu cao du jun sui mai kuan de yan chang er zeng da ,mo ceng zheng ti mo ming xian kong xi deng que xian cun zai 。tong guo dui H/Ezhi de fen xi ke yi kan chu ,jiao xiao mai kuan tiao jian xia zhi bei de mo ceng zeng ge xing neng jiao hao 、ke yi huo de jiao gao de mo ceng ying du yi ji jiao da de ying du -mo liang bi 。
论文参考文献
论文详细介绍
论文作者分别是来自稀有金属材料与工程的乔泳彭,蒋百灵,丁郁航,张静，发表于刊物稀有金属材料与工程2019年03期论文，是一篇关于脉宽参量论文,薄膜论文,纳米晶论文,微观结构论文,力学性能论文,稀有金属材料与工程2019年03期论文的文章。本文可供学术参考使用，各位学者可以免费参考阅读下载，文章观点不代表本站观点，资料来自稀有金属材料与工程2019年03期论文网站，若本站收录的文献无意侵犯了您的著作版权，请联系我们删除。
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