本文主要研究内容
作者周立,杨晓东,金哲山,董杰,周东淇,张猛,胡毓龙,李应胜（2019）在《PECVD RF系统原理和故障改善》一文中研究指出：本文介绍了PECVD G8.5设备RF系统的结构和工作原理。结合PECVD设备在实际生产过程中反射功率过高的问题,通过RF Generator设置,RF match电容配比实验,设备故障以及备件管理的分析,制定了相应的解决对策,从而实现RF系统阻抗匹配,降低RF系统故障发生率。
Abstract
ben wen jie shao le PECVD G8.5she bei RFji tong de jie gou he gong zuo yuan li 。jie ge PECVDshe bei zai shi ji sheng chan guo cheng zhong fan she gong lv guo gao de wen ti ,tong guo RF Generatorshe zhi ,RF matchdian rong pei bi shi yan ,she bei gu zhang yi ji bei jian guan li de fen xi ,zhi ding le xiang ying de jie jue dui ce ,cong er shi xian RFji tong zu kang pi pei ,jiang di RFji tong gu zhang fa sheng lv 。
论文参考文献
论文详细介绍
论文作者分别是来自中国设备工程的周立,杨晓东,金哲山,董杰,周东淇,张猛,胡毓龙,李应胜，发表于刊物中国设备工程2019年09期论文，是一篇关于阻抗匹配论文,反射功率论文,射频发生器论文,匹配器论文,中国设备工程2019年09期论文的文章。本文可供学术参考使用，各位学者可以免费参考阅读下载，文章观点不代表本站观点，资料来自中国设备工程2019年09期论文网站，若本站收录的文献无意侵犯了您的著作版权，请联系我们删除。
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