钎料热界面材料LED芯片键合新方法研究

钎料热界面材料LED芯片键合新方法研究

论文摘要

LED照明由于具有效率高、能耗低、寿命长、环保等诸多优点而被视为下一代照明技术。随着对LED照明要求的不断提高,LED器件的功率不断增大,传统的LED封装结构和热界面材料不能很好地解决越来越严重的散热问题。同时LED阵列照明的发展使得散热基板和热沉的尺寸不断增大,而传统的热风再流焊键合技术由于加热时间长、能耗大和会产生较大残余应力等原因不再适于实际工业生产的要求。为解决LED器件的散热问题,选用热导率较高的钎料(Sn-3.0Ag-0.5Cu)合金作为热界面材料,并设计了两种采用激光局部加热直接将LED芯片键合到热沉上的方法,分别为激光正面加热钎料层(以下简称LF)方法和激光背面加热Cu热沉(以下简称LB)方法。数值计算表明两者所需要的功率与贴片时间、预热温度、加热时间、Cu热沉尺寸以及对激光的吸收率有关。相比于热风再流焊(以下简称HR),所设计的激光局部加热方法具有键合时间短、能耗低等优点。剪切载荷试验测得键合试样的断裂载荷都在2500gf附近,满足芯片键合的要求。但钎料层很脆,断裂过程中钎料层未发生或发生了较少的塑性变形。LF键合界面存在未润湿区域,随着加热时间的延长,其致密性提高;LB和HR键合界面都存在气孔,致密性较差;随着加热时间的延长,施加钎剂的LB试样的致密性稍有提高,而未施加钎剂的则变差。LF方法得到的试样的热阻比LB和HR的小;随着加热时间的延长,LF的热阻变化不大,施加钎剂的LB试样的热阻稍有降低,而未施加钎剂的LB的热阻则增加。LF方法得到的键合试样LED芯片/钎料层界面的金属间化合物为(Au,Cu)Sn4,Cu热沉/钎料层界面处则为(Ni,Cu,Au)3Sn4;LB和HR方法得到的分别为(Cu,Ni,Au)6Sn5和(Ni,Cu,Au)3Sn4。老化过程中,LB键合试样界面IMC层厚度增加并逐渐平坦。LED芯片/钎料层界面(Cu,Ni,Au)6Sn5层中Ni含量减少, Cu含量增多; Cu热沉/钎料层界面(Ni,Cu,Au)3Sn4向(Cu,Ni,Au)6Sn5转化。界面IMC层厚度与老化时间不符合抛物线关系。键合界面的剪切载荷先明显下降,老化4天后,下降减缓。

论文目录

  • 摘要
  • Abstract
  • 第1章 绪论
  • 1.1 选题意义
  • 1.2 研究现状
  • 1.2.1 LED 封装的热问题
  • 1.2.2 芯片键合方法
  • 1.2.3 LED 结温及热阻的测量
  • 1.2.4 孔洞对热阻的影响
  • 1.3 主要研究内容
  • 第2章 激光键合方法的可行性分析
  • 2.1 激光键合方法
  • 2.1.1 激光正面加热钎料层实现芯片键合(Laser Face Bonding-LF)
  • 2.1.2 激光背面加热Cu 热沉实现芯片键合(Laser Back Bonding-LB)
  • 2.2 数值模型的建立
  • 2.2.1 计算模型
  • 2.2.2 约束条件
  • 2.2.3 计算参数的确定
  • 2.3 数值计算结果分析
  • 2.3.1 LF 方法计算结果
  • 2.3.2 LB 方法计算结果
  • 2.3.3 HR 方法计算结果
  • 2.3.4 三种键合方法温度场分布及变化
  • 2.4 本章小结
  • 第3章 试验材料设备及方法
  • 3.1 试验材料
  • 3.1.1 MvpLED 芯片
  • 3.1.2 Cu 热沉
  • 3.1.3 钎料层
  • 3.2 试验设备及方法
  • 3.2.1 激光键合设备
  • 3.2.2 热风再流焊炉
  • 3.2.3 老化试验
  • 3.2.4 SEM 分析
  • 3.2.5 剪切载荷测试
  • 3.3 本章小结
  • 第4章 激光键合方法的工艺性研究
  • 4.1 剪切载荷测试
  • 4.2 键合界面致密性
  • 4.3 热阻的测量
  • 4.3.1 红外热成像仪测温原理
  • 4.3.2 红外热成像设备及热阻测量方法
  • 4.3.3 热阻测量结果及分析
  • 4.4 工艺性试验结果的探讨
  • 4.5 本章小结
  • 第5章 键合界面微观组织及其演变
  • 5.1 键合界面微观组织
  • 5.1.1 LF 键合界面微观组织
  • 5.1.2 LB 键合界面微观组织
  • 5.1.3 HR 键合界面微观组织
  • 5.2 LBN-6 键合试样的界面组织演变
  • 5.2.1 LED 芯片/钎料层界面
  • 5.2.2 Cu 热沉/钎料层界面
  • 5.2.3 界面组织演变过程
  • 5.3 LBN-6 键合试样老化过程中剪切载荷的变化
  • 5.4 本章小结
  • 结论
  • 参考文献
  • 攻读学位期间发表的学术论文
  • 致谢
  • 相关论文文献

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