本文主要研究内容
作者宋健,王承惠,周洁,姜舜（2019）在《利用离子色谱仪分析洁净室空气中的痕量阴离子含量》一文中研究指出：随着工艺的推进,线宽的缩小,洁净室空气中阴离子的存在对芯片产品的良率影响更加明显,这就要求对阴离子含量的分析能达到更低的检出限以更好的管控洁净室空气的质量。描述一种分析洁净室空气中的痕量阴离子含量的方法,可以达到ppt level的检出限,明显优于目前大部分Fab厂的ppb level的检出限,其中已知难以分离的醋酸根离子也达到了2.53的分离度,方法的回收率大于95%。
Abstract
sui zhao gong yi de tui jin ,xian kuan de su xiao ,jie jing shi kong qi zhong yin li zi de cun zai dui xin pian chan pin de liang lv ying xiang geng jia ming xian ,zhe jiu yao qiu dui yin li zi han liang de fen xi neng da dao geng di de jian chu xian yi geng hao de guan kong jie jing shi kong qi de zhi liang 。miao shu yi chong fen xi jie jing shi kong qi zhong de hen liang yin li zi han liang de fang fa ,ke yi da dao ppt levelde jian chu xian ,ming xian you yu mu qian da bu fen Faban de ppb levelde jian chu xian ,ji zhong yi zhi nan yi fen li de cu suan gen li zi ye da dao le 2.53de fen li du ,fang fa de hui shou lv da yu 95%。
论文参考文献
论文详细介绍
论文作者分别是来自集成电路应用的宋健,王承惠,周洁,姜舜，发表于刊物集成电路应用2019年12期论文，是一篇关于集成电路制造论文,离子色谱仪论文,洁净室论文,阴离子含量论文,集成电路应用2019年12期论文的文章。本文可供学术参考使用，各位学者可以免费参考阅读下载，文章观点不代表本站观点，资料来自集成电路应用2019年12期论文网站，若本站收录的文献无意侵犯了您的著作版权，请联系我们删除。
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