论文摘要
太阳能是“取之不尽,用之不竭”的清洁和可再生能源。铜铟硒类薄膜太阳能电池具有优异的光电转换性能而受到广泛关注。CuInSe2(简称CIS)是一种直接带隙材料,其光吸收系数高达105数量级,是目前己知光吸收性最好的半导体薄膜材料之一。CIS类薄膜太阳能电池以CIS为吸收层、以CdS为缓冲层,光电转换效率较高。太阳光的最佳吸收能隙在1.45eV,CuInSe2的带隙为1.04eV,为了提高带隙宽度,通常掺入Ga,形成CuInGaSe四元化合物。鉴于In和Ga均为昂贵金属,本文通过在CIS中掺入廉价的金属Al形成CuInAlSe(CIAS),改变材料的禁带宽度,以提高太阳能电池的转换效率。缓冲层CdS中的Cd有毒,本文制备无毒的ZnS替代CdS做为太阳能电池的缓冲层材料,对环境保护有利。本文首先在玻璃衬底真空上蒸镀Cu-In和Cu-In-Al金属多层膜以及后硒化退火的方法,制得了CIS和CIAS薄膜。然后以ZnSO4·7H2O和CS(NH2)2为原料,以NH3·H2O为络和剂,用化学水浴沉积法(CBD)制得了ZnS薄膜。进而,对制得的样品用X射线衍射仪(XRD)、扫描电镜(SEM)、能谱仪(EDX)、四探针电阻测试仪、分光光度计等进行了检测,并对结果进行了分析。吸收层电性能测试结果显示,CIS薄膜的电阻率在3.68×10-4Ω·cm与1.89Ω·cm之间。当Cu、In、Se的比例在1:1:2附近时,薄膜样品的电阻率在1.0Ω·cm数量级,CIAS薄膜的电阻率较CIS薄膜的低,最高为0.66×10-3Ω·㎝。SEM观察发现CIS薄膜样品的形貌随各元素比例不同而有差异。在化学计量比附近,富Cu的样品晶粒较大。XRD物相分析显示,在化学计量比附近能够获得单一物相的CIS多晶薄膜,Al替代部分In后,CIAS保持了黄铜矿型结构。分光光度计检测结果显示,两种薄膜样品的透光率在5%以下。SEM观察发现,ZnS薄膜表面形貌呈球形,颗粒细小;四探针电阻测试显示ZnS薄膜的电阻率大于1.0kΩ·cm,这样的电阻率满足制作太阳能电池的要求。XRD物相分析显示,ZnS薄膜呈非晶或微晶状态。分光光度计检测说明ZnS薄膜样品的透光率在可见光波段大都在80%以上,其性能均显示了ZnS薄膜适于做太阳能电池缓冲层材料。
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