论文摘要
太赫兹波（Terahertz,简称THz,1THz=1012Hz）是指在微波和红外光谱之间,频率范围为0.1-10THz的电磁波,在电磁波谱上是从电子学过渡到光学的特殊区域,也是由宏观经典理论过渡到微观量子理论的交叉区域,具有很高的科学研究和应用价值。由于长时间的研究空白,THz一直以来是电磁波研究中的盲区,被称作太赫兹空白。但是,由于电磁资源的有限性并伴随着通信事业的发展,目前的低频电磁资源已经分割完毕,才使得人们将研究方向转向更高频率；而个人电子产品等朝着轻便化、微小化的发展趋势,进一步推动了THz器件的研究和发展,这些也正是本文研究的重要现实基础。文章从引用THz SRRs （Split-ring resonators,开环谐振器,本文简称谐振器）的概念以及在CST模拟环境下的仿真设计为出发点。接着由单结构的谐振器提出了多结构谐振器的设想并佐以理论计算,并在CST软件下进行设计结构的模拟验证。继而进一步对由多结构谐振器构造THz滤波器的设想进行理论研究和参数讨论,接着进行了结构计算、设计,并完成了滤波器结构的CST仿真和微加工样品的制备。将制备好的样品在TDS （Terahertz time-domain spectroscopy,太赫兹时域光谱系统）系统下进行了测量。最后对实际测量结果和仿真结果进行了比较和分析,给出造成实验结果误差的工艺原因和系统原因,对以后的研究工作提供了参考和改进的方向。