导读:本文包含了光开关阵列论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:SOI,电光开关,热光开关,光开关阵列
光开关阵列论文文献综述
邢斌[1]（2016）在《SOI光开关阵列的基础研究》一文中研究指出SOI(Silicon-On-Insulator)中文翻译成为绝缘体上的硅,其在半导体材料领域占有一半份额,因其在低压、高温、低功率电路、传感器及光电集成方面有着优良的性能,所以被称为“二十一世纪的硅基础电路技术”。同时,SOI材料的光开关具有与传统硅工艺相兼容、实现光电的集成,开关响应时间快,精湛的加工技术和造价低廉等优势,成为广泛应用的具有发展前景的半导体材料。因此,其不但可以制作精致紧凑灵敏的光电集成器件,也为在CMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor)微电子工艺上实现光电集成提供了一个优良的平台。本文拟以SOI光开关的设计与仿真作为自己的研究方向,重点研究了基于优化后的开关单元进行光开关阵列的建模与仿真。由于光开关在制备工艺上有着一定的困难与不成熟,所以本文主要利用光束传播法对耦合器、光开关以及大型光开关阵列进行优化设计,主要研究内容包括:(1)2×2 SOI光开关单元的优化设计与性能模拟,从MZI(Mach-Zehnder Interferometer)型光开关结构和原理出发,利用有限差分光束传播法优化设计的MZI干涉仪型光开关单元,并对其光路进行性能仿真。(2)2×2 SOI电光开关的研究,研究了SOI电光开关载流子色散效应及其特性。(3)在2×2光开关单元的优化设计和连接光路建模与仿真基础上,构建网络结构,仿真分析了4×4、8×8、16×16的MZI型SOI热光和电光开关阵列的性能。(本文来源于《长春理工大学》期刊2016-12-01）
赵磊,王小齐,李晶娣,赵振海,柳华勃[2]（2016）在《MEMS光开关阵列的设计与应用》一文中研究指出针对如何缩短防空导弹系统反应时间的问题,设计了一种MEMS(micro electro mechanical system,微机电系统)光开关阵列,用于控制防空导弹系统各分系统模块之间的信号传输。该光开关阵列由8组双层静电梳齿结构的光开关组成,每组光开关均控制一个防空导弹系统子模块的通断。根据拉格朗日-麦克斯韦方程,建立系统的机电动力学模型,确定质量、弹性系数、电容、气膜阻尼等主要参数。仿真结果表明:MEMS光开关的响应时间为0.627ms,稳态位移为4.724μm,最大位移为6.801μm,将相同阶段的反应时间缩短为原先的1/4。由此可以得出结论:MEMS光开关阵列不仅缩短了防空导弹系统的反应时间,而且保证了系统的稳定性。(本文来源于《应用光学》期刊2016年03期）
胡国华,恽斌峰,崔一平[3]（2015）在《有机聚合物1×32波导热光开关阵列》一文中研究指出研制出紧凑型树状分支结构马赫-曾德尔干涉(MZI)型有机聚合物1×2热光开关以及1×32集成波导热光开关阵列。利用旋转涂覆法、紫外固化工艺、接触曝光、反应离子刻蚀(RIE)、真空镀膜、切割和抛光等传统微加工工艺,成功完成了器件制备。通过优化刻蚀工艺,有效减小了刻蚀后波导的表面与侧壁粗糙度。通过在波导和金属掩膜层之间添加聚合物隔离层,进一步减小了波导的传输损耗。实验结果显示,制备的1×2热光开关插损仅为2.84dB,串扰为-31.13dB,光开关的电功耗为4.1mW;制备的1×32波导热光开关阵列插损为11.8dB,串扰为-25.3dB,电功耗小于5 mW,器件开关时间为1.15ms。测试结果与数值模拟结果吻合很好,研制的光开关有望应用于光交换器(OXC)、光分插复用器(OADM)以及光控相控阵天线的波束扫描控制系统中。(本文来源于《光电子·激光》期刊2015年10期）
岳秋琴,张智海,余华[4]（2013）在《MOEMS阿达玛变换光谱仪的可动光栅光开关阵列》一文中研究指出根据微弱光谱信号的快速检测原理,构建了一种适用于阿达玛变换光谱仪的MOEMS(微光机电系统)可动光栅光开关阵列。对一种适用于补偿光栅光调制器件加工误差的阿达玛变换算法进行了分析,设计了以Al膜为主的表面微加工工艺流程,制作出MOEMS可动光栅光开关阵列。实验测试结果表明,可动光栅光开关阵列可以在低至8.1V的电压下进行光调制,开关频率达到140Hz,完全可以满足阿达玛变换光谱仪调制速度快、光谱范围宽、机械磨损小和误差小等要求。(本文来源于《中国机械工程》期刊2013年11期）
杨健,陈伟伟,王皖君,王明华,杨建义[5]（2013）在《基于载流子注入的SOI 4×4 MMI-MZ光开关阵列》一文中研究指出采用0.8μm CMOS工艺线制作了一种基于载流子注入的SOI 4×4马赫-曾德(MZ)光开关阵列,其由4个2×2基于多模干涉(MMI)耦合器的MZ(MMI-MZ)光开关单元组成。通过对调制臂施加电压,利用Si的载流子色散效应引起调制区的折射率变化实现开关功能。测试结果表明,当输入光为1 510～1 580nm的宽带光源时,光开关阵列的不同路径间的串扰低于-8.02dB,支持的公共带宽为35nm(1 530～1 565nm),开关阵列的上升和下降时间分别为17.4ns和21ns。(本文来源于《光电子.激光》期刊2013年01期）
陈陶,梁忠诚,黄勇林,郑加金,徐宁[6]（2010）在《一种基于微流控技术的光开关阵列设计与研制》一文中研究指出提出一种基于微流控技术的二维电光开关阵列装置,其基本形式为"储气层+波导层+储液层"的结构。通过气压与电润湿效应双重作用实现对光开关单元中液柱高度的控制,从而控制光路中光束的全透射和全反射以实现光的"开"和"关"。讨论了光开关的工作电压、插损和响应时间等参数。研制结果表明,该结构具有体积小、结构简单、功耗低、能实现集成化和微型化制作的特点。(本文来源于《光电子.激光》期刊2010年11期）
李运涛,余金中,陈少武[7]（2008）在《亚微秒SOI4×4重排无阻塞热光开关阵列》一文中研究指出根据马赫-曾德尔型热光开关的工作原理,提出了可以提高热光开关响应速度的过驱动方法并设计相应的驱动电路,使SOI4×4重排无阻塞热光开关阵列的响应时间从大于2ms提高到了亚微秒。(本文来源于《激光与光电子学进展》期刊2008年02期）
万鹏,晏辉鸣,吴兴坤[8]（2005）在《一种智能光网络中的亚毫秒光开关阵列》一文中研究指出设计研制了一种亚毫秒级微机械光开关阵列.该阵列驱动电压为5V,开关时间小于750μs,插入损耗在0.6dB～0.8dB之间,串扰<-70dB.具有结构简单、成本低廉、可大规模集成的优点,能很好地解决智能光网络节点连接设备OADM快速信号转换和串扰问题.详细介绍了该光开关阵列实现原理,报告了器件性能测试,并应用FEA软件分析了开关单元中磁场和开关驱动过程.(本文来源于《光子学报》期刊2005年07期）
胡巧燕,袁菁,李静,李宝军[9]（2005）在《4×4纵横交换微电机械系统光开关阵列》一文中研究指出微电机械系统(MEMS)光开关是微电机系统技术与传统光学技术相结合的新型机械式光开关。采用纵横交换网络和通断型微镜实现4×4微电机械系统光开关阵列,利用球透镜单模光纤准直器作为微电机械系统光开关阵列的输入、输出端口。运用高斯光束耦合理论对光开关阵列插入损耗(IL)进行了理论计算,并对引起插入损耗的主要因素进行了分析。对于失调容限:输入与输出光纤准直器位置失调2μm,定位角度失调0.15°,微镜非垂直反射角度失调0.15°,制作了4×4微电机械系统光开关阵列,对其各个通道的插入损耗进行了实验测试,其中最大值为2.77dB。(本文来源于《中国激光》期刊2005年07期）
李运涛,陈少武,余金中[10]（2005）在《一种可以提高热光开关阵列可靠性的驱动电路的设计(英文)》一文中研究指出分析了加热器对热光开关阵列可靠性的影响并在此基础上提出了一种改进的驱动电路,使4×4 简化树形结构的光开关的阵列的可靠性从78.87%提高到97.04%。模拟及实验结果表明该控制和驱动电路可以为热光开关阵列提供适当的驱动电流。(本文来源于《电子器件》期刊2005年01期）
光开关阵列论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
针对如何缩短防空导弹系统反应时间的问题,设计了一种MEMS(micro electro mechanical system,微机电系统)光开关阵列,用于控制防空导弹系统各分系统模块之间的信号传输。该光开关阵列由8组双层静电梳齿结构的光开关组成,每组光开关均控制一个防空导弹系统子模块的通断。根据拉格朗日-麦克斯韦方程,建立系统的机电动力学模型,确定质量、弹性系数、电容、气膜阻尼等主要参数。仿真结果表明:MEMS光开关的响应时间为0.627ms,稳态位移为4.724μm,最大位移为6.801μm,将相同阶段的反应时间缩短为原先的1/4。由此可以得出结论:MEMS光开关阵列不仅缩短了防空导弹系统的反应时间,而且保证了系统的稳定性。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
光开关阵列论文参考文献
[1].邢斌.SOI光开关阵列的基础研究[D].长春理工大学.2016
[2].赵磊,王小齐,李晶娣,赵振海,柳华勃.MEMS光开关阵列的设计与应用[J].应用光学.2016
[3].胡国华,恽斌峰,崔一平.有机聚合物1×32波导热光开关阵列[J].光电子·激光.2015
[4].岳秋琴,张智海,余华.MOEMS阿达玛变换光谱仪的可动光栅光开关阵列[J].中国机械工程.2013
[5].杨健,陈伟伟,王皖君,王明华,杨建义.基于载流子注入的SOI4×4MMI-MZ光开关阵列[J].光电子.激光.2013
[6].陈陶,梁忠诚,黄勇林,郑加金,徐宁.一种基于微流控技术的光开关阵列设计与研制[J].光电子.激光.2010
[7].李运涛,余金中,陈少武.亚微秒SOI4×4重排无阻塞热光开关阵列[J].激光与光电子学进展.2008
[8].万鹏,晏辉鸣,吴兴坤.一种智能光网络中的亚毫秒光开关阵列[J].光子学报.2005
[9].胡巧燕,袁菁,李静,李宝军.4×4纵横交换微电机械系统光开关阵列[J].中国激光.2005
[10].李运涛,陈少武,余金中.一种可以提高热光开关阵列可靠性的驱动电路的设计(英文)[J].电子器件.2005