本文主要研究内容
作者王永清,杨永旺,万真真,申玉民,刘庆学（2019）在《立体螺旋线圈微型电感耦合等离子体激发源激发测试研究》一文中研究指出：介绍了一种电感耦合等离子体(Inductively Coupled Plasma,ICP)光谱激发源,该激发源采用微结构立体螺旋线圈。实验以氩气作为实验气体,采用以立体螺旋线圈作为微电路组件主体的微型ICP激发源研究了立体螺旋线圈激发氩气的最佳结构参数:匝数为4.5匝,线圈直径为5mm,铜线直径为1mm;测得了激发源在激发氩气时的工作条件:最佳射频功率为15～20W,最佳工作气压为50～100Pa,并分析了射频功率和工作气压对于氩气谱线强度的影响。采用射频功率为15W、氩气工作气压为60Pa对空气样品进行激发,检测到氮离子、氦离子等,由此表明立体螺旋线圈微型ICP激发源对空气样品具有激发能力,并且立体螺旋线圈微型ICP激发源比平面微型ICP激发源的激发能力更强。
Abstract
jie shao le yi chong dian gan ou ge deng li zi ti (Inductively Coupled Plasma,ICP)guang pu ji fa yuan ,gai ji fa yuan cai yong wei jie gou li ti luo xuan xian juan 。shi yan yi ya qi zuo wei shi yan qi ti ,cai yong yi li ti luo xuan xian juan zuo wei wei dian lu zu jian zhu ti de wei xing ICPji fa yuan yan jiu le li ti luo xuan xian juan ji fa ya qi de zui jia jie gou can shu :za shu wei 4.5za ,xian juan zhi jing wei 5mm,tong xian zhi jing wei 1mm;ce de le ji fa yuan zai ji fa ya qi shi de gong zuo tiao jian :zui jia she pin gong lv wei 15～20W,zui jia gong zuo qi ya wei 50～100Pa,bing fen xi le she pin gong lv he gong zuo qi ya dui yu ya qi pu xian jiang du de ying xiang 。cai yong she pin gong lv wei 15W、ya qi gong zuo qi ya wei 60Padui kong qi yang pin jin hang ji fa ,jian ce dao dan li zi 、hai li zi deng ,you ci biao ming li ti luo xuan xian juan wei xing ICPji fa yuan dui kong qi yang pin ju you ji fa neng li ,bing ju li ti luo xuan xian juan wei xing ICPji fa yuan bi ping mian wei xing ICPji fa yuan de ji fa neng li geng jiang 。
论文参考文献
论文详细介绍
论文作者分别是来自冶金分析的王永清,杨永旺,万真真,申玉民,刘庆学，发表于刊物冶金分析2019年01期论文，是一篇关于微型光谱仪论文,激发源论文,电感耦合等离子体论文,立体螺旋线圈论文,工作参数论文,冶金分析2019年01期论文的文章。本文可供学术参考使用，各位学者可以免费参考阅读下载，文章观点不代表本站观点，资料来自冶金分析2019年01期论文网站，若本站收录的文献无意侵犯了您的著作版权，请联系我们删除。
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