新型TiO2紫外探测器的研制

论文摘要

本论文的主要研究工作是以TiO2薄膜为基体材料的金属-半导体-金属（MSM）结构的光导型紫外探测器。首先,我们利用溶胶—凝胶法制备了纳米晶TiO2薄膜材料,通过XRD、AFM、XPS等表征手段对不同热处理温度下的薄膜材料的性质进行研究,了解其结构和光学性质的变化规律,从而选择适宜的条件制备符合设计要求的基体材料。然后,利用射频磁控溅射法在TiO2薄膜上溅射金属Al形成欧姆接触,采用标准光刻技术形成叉指状电极。对TiO2基紫外探测器的一些光电特性作了初步的测试,发现探测器在230-280nm的紫外波段有较好的响应。在250nm波长处我们测量了响应度和外加偏压的关系,响应度随外加偏压的增加而近似线性增加,在5V时达到饱和。

论文目录

• 第一章 绪论
• 1.1 论文的研究背景
• 1.2 本论文的主要工作
• 第二章 半导体光电探测器的结构和工作原理
• 2.1 引言
• 2.2 半导体光电探测器结构的基本类型
• 2.3 探测器的工作原理及主要参数
• 2.4 小结
• 2薄膜材料的制备与表征'>第三章 TiO₂薄膜材料的制备与表征
• 3.1 引言
• 2薄膜的制备'>3.2 TiO₂薄膜的制备
• 2溶胶的制备过程'>3.2.1 TiO₂溶胶的制备过程
• 3.2.2 涂膜过程
• 3.2.3 热处理过程
• 2薄膜的表征'>3.3 TiO₂薄膜的表征
• 3.3.1 X-射线衍射分析
• 3.3.2 原子力显微镜分析（AFM）
• 3.3.3 X射线光电子能谱（XPS）
• 3.3.4 紫外吸收光谱
• 3.4 小结
• 2紫外探测器的研制'>第四章 TiO₂紫外探测器的研制
• 4.1 引言
• 2紫外探测器的制备'>4.2 TiO₂紫外探测器的制备
• 2的欧姆接触'>4.2.1 AL与TiO₂的欧姆接触
• 2叉指状电极结构探测器的制备'>4.2.2 TiO₂叉指状电极结构探测器的制备
• 4.3 探测器性能测试及结果讨论
• 4.4 小结
• 参考文献
• 致谢
• 中文详细摘要
• Abstract