论文摘要
本论文详细分析了硅纳米孔柱阵列(Si-NPA)形成过程及腐蚀结果,基于多孔硅在酸性溶液中的形成机理及硅在碱性溶液中的各向异性腐蚀机理,结合多孔硅及Si-NPA制备过程中的实验现象,证明了硅在酸性溶液中存在各向异性腐蚀。在扩散限制模型基础上,引入各向异性腐蚀的机制,提出Si-NPA的第一种腐蚀模型-空穴必须模型。该模型将硅在HF和Fe(NO3)3溶液中的水热腐蚀过程简化为空穴在硅体内的随机行走,行走到表面原子位置后,获得空穴的原子根据悬键个数的差异以不同的概率被腐蚀。此模型中存在两种机制:空穴随机行走和各向异性腐蚀。本文详细的分析了两种机制在腐蚀过程中的作用,并解释了Si-NPA必须利用高掺杂的p型硅片的原因。本文利用蒙特卡洛方法编程对上述模型进行三维计算机模拟。模拟过程中引入空穴浓度和不同悬键的原子腐蚀概率两个重要参数。并分析了两个参数对形貌、孔隙率和分形维数的影响。尝试不同参数进行模拟发现,腐蚀结果始终是一种多孔状结构,与Si-NPA形成过程中的形貌有较大的出入。空穴必须模型模拟结果与实验有较大的偏差,然后结合空穴的概念,对腐蚀的物理过程进行分析,提出空穴只是在整个腐蚀过程中起加速腐蚀的作用,由此提出第二个模型-空穴辅助模型。该模型硅在HF溶液中主要基于各向异性腐蚀,而空穴扩散到表面后加速表面原子的腐蚀。与第一个模型的区别是:在第一个模型中,空穴的到达是腐蚀过程的必要条件;在第二个模型中,空穴的到达只是加速该原子的腐蚀。本文详细分析了两种腐蚀机理在腐蚀过程中的作用,解释了实验中发现的硅柱表面和底部的多孔层结构,同时解释了随着溶液浓度的增加,硅柱变大,面密度减小的实验现象。最后针对空穴辅助模型进行计算机模拟,通过参数的改变得到了不同类型的硅柱,从而证实了上述理论的正确性。
论文目录
相关论文文献
- [1].纳米孔测序技术在食品微生物检测中的应用[J]. 食品安全导刊 2020(03)
- [2].固态纳米孔上端粒序列的共价修饰与G-四联体折叠监测[J]. 微纳电子技术 2020(06)
- [3].纳米孔测序技术研究进展[J]. 中国媒介生物学及控制杂志 2020(03)
- [4].单锥纳米孔传感器整流效应的参数化研究[J]. 传感器与微系统 2020(10)
- [5].基于高分子聚合物及毛细玻璃管的固态单纳米孔通道在分析化学中的应用[J]. 分析化学 2018(06)
- [6].固体纳米孔分析技术的研究进展[J]. 分析化学 2018(06)
- [7].纳米孔单分子传感器电导特性有限元分析[J]. 传感器与微系统 2018(05)
- [8].α-溶血素的表达及其纳米孔的制备[J]. 中国生物工程杂志 2017(01)
- [9].纳米孔技术检测蛋白质的研究新突破[J]. 世界复合医学 2016(01)
- [10].非对称领结型纳米孔阵列的光透射特性(英文)[J]. 光散射学报 2016(03)
- [11].纳米孔生物技术的新进展[J]. 农产品加工(学刊) 2014(23)
- [12].干燥时间对制备大面积有序纳米孔炭膜的影响[J]. 化学世界 2020(03)
- [13].美国马里兰大学制备出新型纳米孔电池[J]. 电源技术 2015(01)
- [14].纳米孔过滤薄膜领域取得重要进展[J]. 中学化学教学参考 2019(15)
- [15].硅纳米孔结构在多晶硅太阳能电池中的应用[J]. 上海电机学院学报 2014(04)
- [16].纳米孔分析化学[J]. 分析化学 2013(05)
- [17].Xe离子导向穿过PC纳米孔箱(英文)[J]. IMP & HIRFL Annual Report 2008(00)
- [18].纳米孔模板的透射电镜观察[J]. 杭州电子科技大学学报 2008(03)
- [19].基于正交实验优化不锈钢表面纳米孔结构制备工艺[J]. 表面技术 2019(01)
- [20].固态纳米孔制备技术的发展(英文)[J]. Science Bulletin 2015(03)
- [21].利用固态纳米孔探测单个蛋白分子的表面亲疏水性(英文)[J]. Science China Materials 2015(06)
- [22].纳米孔测序技术取得新进展[J]. 生物医学工程与临床 2012(03)
- [23].纳米孔阵列加工技术研究进展[J]. 机械工程学报 2020(09)
- [24].电压施加方式对阳极氧化TiO_2纳米孔薄膜形貌的影响[J]. 电镀与精饰 2012(07)
- [25].拜耳材料开发纳米孔硬泡塑料[J]. 功能材料信息 2010(Z1)
- [26].纳米孔分析方法在有毒物质检测中的应用[J]. 分析化学 2018(06)
- [27].美国研究人员开发出新型纳米孔电池[J]. 军民两用技术与产品 2014(18)
- [28].竖直排列硅纳米孔阵列强化光学吸收的机理[J]. 热科学与技术 2014(01)
- [29].低效纳米孔晶体硅太阳电池性能研究[J]. 云南师范大学学报(自然科学版) 2014(02)
- [30].便携式DNA设备能产生更好数据的原因[J]. 透析与人工器官 2011(02)