论文摘要
半导体激光器又称激光二极管(LD),是以半导体材料作为工作介质的一类激光器。半导体激光器具有单色性、高亮度、体积小、响应速度快、效率高、可直接调制等特点,已经在光纤通信、光传感、光信息存储、激光打印、集成光学等领域发挥着重要的作用。为了实现更高功率的半导体激光器,人们设计了激光二级管列阵(LDA)。激光二极管列阵应用也很广泛,它可以作为激光器的泵浦源,可以实现激光焊接,还可以用来做眼科手术、红外照明等。但由于激光二极管列阵(LDA)输出光束呈相当严重的扁椭圆形(比如:1μm×10mm),输出的光束不能直接应用,所以改善激光二极管列阵的光束质量显得尤为重要。改善半导体激光光束质量的技术可以分为两类。一类是通过改变半导体激光器本身或者外加谐振腔等方法,内在地改变出射光束质量。而另外一种类型方法是通过对半导体激光器外加折射、反射、衍射等光学系统,外在地改变其出射光束质量。后一种类型更加常见和简便,要对其进行光束整形,首先要知道其远场光强分布理论,但是至今没有一种理论模型满足大功率激光器的出射光场分布。在此基础上,本文一方面对LDA的出射光场分布提出了一种新的理论模型,并通过对其光强分布的实验测试记录了发光性质的资料,并进行理论模型和实验数据对比;同时还对整形方案进行了理论推导,并进行了相关实验结果的记录。我们采用的光强分布测试系统,可以记录大量的数据,并可获得了LDA的三维光束轮廓分布图(相应的一维图和二维图也可以得到)。这些数据,为下一步的光束整形提供了前提依据。我们设计的光束整形系统是透镜组合:第一部分是正交双曲柱面-圆柱面微透镜,它的作用是降低快轴和慢轴的发散角;第二部分椭圆柱面-平面透镜和平面-圆柱面透镜组成,其目的是对光束进行压缩,它能将慢轴方向上的光斑压缩到1mm之内。
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