基于锯齿型微沟道的双腔并联无阀微泵研究

基于锯齿型微沟道的双腔并联无阀微泵研究

论文摘要

微流控系统具有集成度高、性能稳定和功能强大的特点,已经在电子、机械、化工、医疗、航天以及生活用品方面得到广泛应用。微流控系统中的执行部件主要包括微泵,微阀,微流道和各种物理量传感器等。微泵是整个系统的动力装置,为系统内流体的运动提供动力,其作用正如血液循环系统中的心脏,其发展受到各国科学家的关注。基于收缩/扩散原理的无阀微泵以其结构简单、易于集成、性能稳定、不易堵塞等特点,已成为无阀微泵的研究热点之一本文设计了基于锯齿型微沟道的双腔并联无阀微泵。利用ANSYS有限元分析软件,对锯齿型扩散/收缩管内的流场和压电双晶片的性能进行了仿真,分析结果表明:通过在收缩/扩散内增加锯齿状结构,增强了收缩/扩散作用,相同参数的锯齿型扩散/收缩管比平滑型的稳态流量增大约30%;随着扩散/收缩管的长度、最小宽度和扩张角的增大,稳态流量不再是单调变化,存在一个极大值点;压电双晶片的长度和铜片的厚度对驱动性能影响较大,压电双晶片的宽度对驱动性能影响较小。根据仿真结果,优化了锯齿型沟道无阀微泵的结构参数设计,并利用MEMS工艺分别制作了以硅和玻璃为基底的锯齿型收缩/扩散管,选用较易加工且性能优良的亚克力材料制作泵腔,并采用玻璃支架将各部分进行组合封装,制成了具有不同锯齿型结构参数的单腔和双腔无阀微泵。为了更准确地测试微泵性能,本文设计了基于FPGA的微流量传感器检测系统。测试结果表明:在相同的驱动能力下,锯齿型收缩/扩散管可以使微泵的流量增加30%;双腔微泵的流量较单腔微泵有所提高,但由于驱动装置的封装尚未达到理想状态,故其流量达不到单腔微泵流量的二倍。

论文目录

  • 摘要
  • Abstract
  • 1 绪论
  • 1.1 课题的提出
  • 1.2 微泵的国内外研究现状
  • 1.3 本文的主要工作
  • 2 无阀压电微泵的工作原理
  • 2.1 扩散/收缩管微泵工作原理
  • 2.2 压电致动器原理
  • 2.2.1 压电效应及压电材料
  • 2.2.2 压电陶瓷性能参数
  • 2.2.3 压电双晶片工作原理
  • 3 无阀压电微泵的有限元仿真分析
  • 3.1 双腔并联无阀微泵的结构设计
  • 3.2 锯齿型微沟道仿真分析
  • 3.2.1 实体建模及参数定义
  • 3.2.2 仿真结果及分析
  • 3.3 悬臂梁式压电驱动器仿真分析
  • 3.3.1 压电双晶片的结构静力分析
  • 3.3.2 压电双晶片的模态分析
  • 4 锯齿型扩散/收缩管无阀微泵的制作
  • 4.1 锯齿型扩散/收缩管的制作
  • 4.1.1 硅基扩散/收缩管
  • 4.1.2 玻璃扩散/收缩管
  • 4.2 泵腔的制作
  • 4.3 泵膜的制作
  • 4.4 压电双晶片的选择
  • 4.5 微泵的封装
  • 4.5.1 封装工艺
  • 4.5.2 封装中存在的问题及其解决方法
  • 5 无阀微泵检测系统及测试结果分析
  • 5.1 压电双晶片测试系统及结果分析
  • 5.1.1 压电片振幅测量系统
  • 5.1.2 压电片振幅测量结果分析
  • 5.2 流量传感器检测系统设计
  • 5.2.1 微流量传感器工作原理
  • 5.2.2 流量传感器检测系统设计
  • 5.3 流量检测系统及测试结果分析
  • 5.3.1 流量检测系统
  • 5.3.2 驱动电压对流量的影响
  • 5.3.3 锯齿型和平滑型收缩/扩散管的性能对比
  • 5.3.4 锯齿型微沟道结构参数对流量的影响
  • 5.3.5 单腔和双腔微泵的流量对比
  • 结论
  • 参考文献
  • 攻读硕士学位期间发表学术论文情况
  • 致谢
  • 相关论文文献

    • [1].电荷注入多重电极底栅有机场效应晶体管对接触和沟道电阻的影响[J]. 内蒙古科技与经济 2017(11)
    • [2].功率应用中的P沟道和N沟道MOSFET[J]. 中国集成电路 2015(12)
    • [3].七沟道等速万向节沟道直径的测量与计算[J]. 机械工程师 2014(12)
    • [4].沟道侵蚀的多样性和发生过程及研究展望[J]. 土壤与作物 2018(02)
    • [5].氮化硅膜致小尺寸金属氧化物半导体晶体管沟道单轴应变物理机理[J]. 物理学报 2015(23)
    • [6].南小河沟流域侵蚀沟道特征研究[J]. 人民黄河 2016(03)
    • [7].铜微沟道热沉精密加工技术研究[J]. 重庆理工大学学报(自然科学) 2014(09)
    • [8].延安市沟道造地试点县治理方案探讨[J]. 陕西水利 2012(02)
    • [9].Qimonda转让75nm和58nm DRAM沟道技术给台湾Winbond公司[J]. 半导体信息 2008(01)
    • [10].山东海阳核电站一期取水沟道抗震性能分析[J]. 水利与建筑工程学报 2016(01)
    • [11].加强平凉市城市河沟道建设与管理的探讨[J]. 甘肃农业 2014(18)
    • [12].基于一维运动波理论的坡面汇流和沟道汇流数学模型研究[J]. 中国防汛抗旱 2014(05)
    • [13].大中型四点接触球轴承沟道中心径测量装置的改进[J]. 轴承 2013(08)
    • [14].中小型单列角接触球轴承车外沟道位置检测方法的改进[J]. 哈尔滨轴承 2012(04)
    • [15].IR新型-30V P沟道功率MOSFET使设计更简单灵活[J]. 半导体信息 2010(05)
    • [16].电泳微芯片进样口与微沟道形状的优化设计[J]. 传感器与微系统 2008(10)
    • [17].防城港电厂循环水引水沟道的设计与施工[J]. 电力勘测设计 2008(01)
    • [18].基于实码加速遗传算法的排涝沟道优化设计研究[J]. 黑龙江水利科技 2016(02)
    • [19].赌博也要懂概率[J]. 大科技(百科新说) 2016(01)
    • [20].露天矿采矿生产中合理选择固定沟道位置的理论研究[J]. 露天采矿技术 2014(01)
    • [21].特大型推力球轴承套圈沟道中心径测量尺[J]. 轴承 2014(04)
    • [22].商洛市土石山区沟道水土流失综合治理探析[J]. 中国水土保持 2014(05)
    • [23].推进沟道治理 发展沟道经济[J]. 内蒙古林业 2012(05)
    • [24].SiA975DJ:P沟道功率MOSFET[J]. 世界电子元器件 2010(05)
    • [25].土石山区沟道综合治理的方法及效益[J]. 陕西水利 2009(04)
    • [26].兰州市小沟道泄洪能力调查分析[J]. 甘肃水利水电技术 2009(10)
    • [27].山东海阳核电一期取水沟道进出口部位抗震分析[J]. 地震工程学报 2016(02)
    • [28].浅埋暗挖施工方法在电力沟道工程中的应用[J]. 技术与市场 2011(08)
    • [29].原位钝化和催化剂钝化沟道阱能带计算[J]. 固体电子学研究与进展 2011(04)
    • [30].轴承外圈沟道表面开裂原因[J]. 理化检验(物理分册) 2010(02)

    标签:;  ;  ;  ;  

    基于锯齿型微沟道的双腔并联无阀微泵研究
    下载Doc文档

    猜你喜欢