导读:本文包含了氧化锌薄膜论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:薄膜体声波谐振器(FBAR),氧化锌(ZnO),谐振频率,射频磁控溅射
氧化锌薄膜论文文献综述
陈熙,段力,翁昊天,付学成,杨志[1]（2019）在《氧化锌薄膜体声波谐振器制作重复性和均匀性》一文中研究指出通过磁控溅射靶材的成分调控和一系列优化过的微电子机械系统(MEMS)工艺,成功研制了基于氧化锌(ZnO)压电薄膜的固体装配型薄膜体声波谐振器(FBAR)。通过使用性能优异的靶材,所得到的器件谐振性能良好。在同一种工艺条件下得到多个硅片的中心处FBAR的谐振频率为2.365～2.379 GHz,具有较好的重复性。并且,同一硅片不同位置的器件性能还具有优异的均匀性,S_(11)的平均相对误差很小。尤其谐振频率可以控制在2.359～2.410 GHz,相比之前的1.8～2.4 GHz,其均匀性有了明显的提升。同一硅片上9个FBAR谐振频率的平均相对误差能够低至0.256%。(本文来源于《微纳电子技术》期刊2019年12期）
车伟,苏徽,赵旭,程位任,刘庆华[2]（2019）在《表面活性剂和n型载流子对钴掺杂氧化锌薄膜铁磁性的双重调控（英文）》一文中研究指出本文提出了一种利用表面活性剂钝化和电子载流子掺杂来调制钴掺杂氧化锌稀磁半导体薄膜固有铁磁性的"双重操纵效应"新方法.第一性原理计算表明,氢表面钝化作为薄膜表面Co-O-Co磁耦合的磁开关,可以控制掺杂钴原子的自旋极化.同时,电子载流子掺杂可以进一步用作类层状铁磁性媒介来调节薄膜内部原子层的铁磁性.该双重操纵效应揭示了n型钴掺杂氧化锌稀磁半导体薄膜的本质铁磁性来源,并且还有可能用作其他n型稀磁半导体氧化物薄膜增强铁磁性的替代策略.(本文来源于《Chinese Journal of Chemical Physics》期刊2019年04期）
莫观孔,刘家辉,邹卓良,唐子媚,刘宇伦[3]（2019）在《脉冲激光沉积法制备低阻掺镓氧化锌薄膜及其光电性能》一文中研究指出采用脉冲激光沉积法在玻璃衬底上沉积掺镓氧化锌(GZO)透明导电薄膜,使用X射线衍射仪、紫外可见分光光度仪、原子力电子显微镜和霍尔测试系统,研究了氧气分压对GZO薄膜晶体结构、微观形貌以及光电性能的影响。结果表明:所有的样品都表现出六方纤锌矿结构,并具有高度的c轴择优取向生长;薄膜表面致密光滑,晶粒尺寸随氧气分压增大而先增大后减小,当氧气分压为0.5 Pa时,薄膜的结晶性最佳;沉积的GZO薄膜在可见光区域表现出高于91.97%的透过率,且禁带宽度在3.492～3.576 eV之间;随着氧气分压增大,载流子浓度与霍尔迁移率先增加后减小,电阻率先减小后增大,当氧气分压为0.5 Pa时,GZO薄膜的电阻率最低,为2.95×10~(-4)Ω·cm。(本文来源于《中国激光》期刊2019年10期）
张志秦,胡跃辉,张效华,胡克艳,陈义川[4]（2019）在《调制溅射功率对掺镓氧化锌薄膜光电性能影响》一文中研究指出使用射频磁控溅射法在石英衬底上制备ZnO掺Ga薄膜(GZO),通过调制不同的溅射功率制备GZO薄膜,研究了溅射功率对GZO薄膜光电学性能的影响。对不同溅射功率下的GZO薄膜进行X射线衍射、扫描电镜(SEM)、内应力、紫外可见光光谱、光致发光谱分析和电学性能分析。结果表明:随着溅射功率的提高,GZO薄膜保持良好的C轴择优取向;薄膜结晶度增加,晶界减少,晶粒尺寸增大;透光性减小;薄膜缺陷降低;薄膜表面方块电阻下降。(本文来源于《陶瓷学报》期刊2019年02期）
左宇杰[5]（2019）在《富勒烯溶液和掺铝氧化锌薄膜的光限幅效应研究》一文中研究指出随着高功率激光器的迅速发展,各国越来越重视激光防护技术的研究,探索经济实用的激光防护材料。当前,基于非线性光学原理的激光防护技术及光限幅材料,在可见光波段的研究已经比较成熟,但是在近红外波段实现激光防护的光限幅材料研究较少。研究表明,富勒烯(C_(60)和C_(70))和掺铝氧化锌(Aluminum-doped zinc oxide,AZO)在可见光波长具有较强的非线性光学效应,但在近红外光波段的非线性光学效应尚待研究。本文针对波长1064nm高功率脉冲激光的防护技术,研究富勒烯溶液和AZO薄膜的光限幅效应。以不同浓度(0.25和1mmol/L)和厚度(5和10mm)的富勒烯溶液(C_(60)甲苯、C_(60)二甲苯、C_(70)甲苯和C_(70)二甲苯)为样品,测量了不同入射光强下的透射率,分析了浓度、厚度、溶质、溶剂对富勒烯溶液光限幅效应的影响。以AZO薄膜为样品,在不同脉冲宽度(26、62和101ns)和能量密度(5.3、10.6和15.9J/cm~2)的激光下,分别开展了开孔和闭孔Z扫描测量实验,计算了非线性吸收系数和非线性折射率系数,分析了脉冲宽度和能量密度对非线性光学效应的影响,与其他几种具有非线性光学效应的薄膜对比。研究结果表明,在1064nm的纳秒脉冲激光下,当入射光功率密度低于20MW/cm~2时,富勒烯溶液样品的透射率稳定在0.8以上。当入射光功率密度高于20MW/cm~2时,富勒烯溶液溶质与溶剂一定,浓度越高、厚度越大,透射率总体上更低,光限幅效应越强;富勒烯溶液浓度与厚度一定,C_(70)的透射率总体上低于C_(60)的透射率,光限幅效应更强;甲苯和二甲苯溶剂样品的透射率差别不大,溶剂对光限幅效应几乎没有影响。AZO薄膜的非线性吸收系数平均值为3.68×10~(-9)m/W,非线性吸收效应主要表现为反饱和吸收;非线性折射率系数平均值为-6.34×10~(-13)m~2/W,非线性折射效应主要表现为自散焦。入射激光的脉冲宽度和能量密度对AZO薄膜的非线性吸收系数和非线性折射率系数几乎没有影响。与其他几种具有非线性光学效应的薄膜相比,AZO的非线性光学系数的数量级更大,有望成为光限幅材料。(本文来源于《南京航空航天大学》期刊2019-04-01）
钟志有,朱雅[6]（2019）在《不同压强下制备镓-镁共掺杂氧化锌薄膜的性能研究》一文中研究指出以镓-镁掺杂的氧化锌(ZnO)陶瓷靶作为溅射源,采用磁控溅射技术在玻璃基片上沉积镓-镁共掺杂ZnO(ZnO:Ga-Mg)薄膜样品.通过X射线衍射(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)的测试表征,研究了压强对ZnO:Ga-Mg样品结构性质和薄膜内应力的影响.结果表明,所有薄膜样品均为六角纤锌矿晶体结构并具有(002)择优取向生长特性,压强对其结晶性能和内应力具有明显的影响.当压强为3.5 Pa时,ZnO:Ga-Mg薄膜样品具有最强的(002)衍射峰、最大的平均晶粒尺寸、最小的张应力和最好的晶体质量.(本文来源于《中南民族大学学报(自然科学版)》期刊2019年01期）
姜瑷珂[7]（2019）在《基于氧化锌薄膜晶体管的透明指纹识别系统和算法》一文中研究指出在智能电子设备普及的当代,随着人们对手机更薄,更轻巧和更高占屏比的需求,基于身份认证的指纹识别、人脸识别等技术不断受到冲击和挑战。智能手机尺寸的增加意味着显示屏大小在手机中具有最高优先级地位,而主流的身份识别技术占据一定空间,与之相违背。因此,屏下指纹识别乘着全面屏的东风迅速风靡和发展。本文基于一套稳定、可靠的氧化锌薄膜晶体管制备工艺,在玻璃基板上制作了叁种不同电路结构的透明指纹识别传感器,平均透射率大约为84%,非常有望集成于显示器上方实现全面屏指纹识别。同时,它还是一个结合多点触控功能和指纹识别于一体的触摸屏。有别于传统的传感矩阵,本文研发的传感器单元像素内氧化锌TFT不止作为开关,还用于实现信号的前置放大功能。经过系统电路搭建和测试,不断调整优化电路结构和布局,最后设计了一套能够实时显示的外围检测电路,结合上位机图像算法处理,获得了清晰的254DPI指纹图像。此外该传感矩阵可以在白光下稳定工作。这项研究开拓了有源矩阵在透明电子领域的潜在应用。本文的研究内容和成果如下:(一)制备出阈值电压在0V左右,开关比高达108,IG维持在pA数量级的ZnO-TFT,表现出了良好的均匀性、稳定性和透明性。(二)针对指纹识别矩阵传统开关模型信号小的缺点,分别设计了单级放大反相器和双级放大的有源矩阵结构,在前端实现信号放大的作用。后续进行了更深一步的原理分析,利用HSPICE仿真对比,提出优化的传感器电路结构。(叁)在玻璃基板上成功制备出50×50,96×96,200×100像素单元的透明阵指纹识别矩阵,能在可见光照射下稳定工作。并搭建了一套指纹识别测试系统,通过不断调整采集延时最终获取了清晰的指纹图像。(四)屏下指纹的难点在于如何穿透具有厚度的保护层来感知指纹信号。本项目针对不同电路结构的透明矩阵分别尝试了 20nm,1μm,8μm,100μm厚度的保护层,其中单级放大模型体现了良好的稳定性,并获取到了指纹图像。(五)对该透明指纹识别系统采集的原始数据进行图像算法处理,其中包括灰度均衡,图像增强,细化,二值化,最后获取到指纹信息的有效特征点。(本文来源于《浙江大学》期刊2019-03-11）
郭德双,陈子男,王登魁,唐吉龙,方铉[8]（2019）在《退火温度对铝掺杂氧化锌薄膜晶体质量及光电性能的影响》一文中研究指出研究了退火温度对原子层沉积(ALD)生长的铝掺杂氧化锌(AZO)薄膜光电性能的影响,结果发现:AZO薄膜在600℃退火后,X射线衍射峰的半峰全宽从未退火时的0.609°减小到0.454°,晶体质量得到提升;600℃退火后,薄膜的表面粗糙度从未退火时的0.841 nm降低至0.738 nm;400℃退火后,薄膜的载流子浓度和迁移率均达到最大值,分别为1.9×10~(19) cm~(-3)和4.2 cm~2·V~(-1)·s~(-1),之后随着退火温度进一步升高,载流子浓度和迁移率降低;退火温度由300℃升高到600℃过程中薄膜的吸收边先蓝移后红移。(本文来源于《中国激光》期刊2019年04期）
解旭东[9]（2019）在《旋涂法制备铈掺杂氧化锌薄膜的特性分析研究》一文中研究指出以旋涂法制备铈掺杂氧化锌薄膜,利用XRD、Uv-vis光谱、PL光谱、四点探针及磁性测试系统等手段分析铈掺杂与退火处理对薄膜的晶体结构、表面形貌、光学透射率、发光特性及电磁特性的影响。研究结果表明:所有薄膜皆为纤锌矿结构,具有很高的c轴取向性,无杂相产生,但铈掺杂会影响其结晶状况。所有薄膜表面皆呈多孔性纳米晶形态,掺铈后其表面则会出现五边形或六边形链状纹路,且具有很高的再现性。所有薄膜在可见光范围内的透射率皆可达80%以上,其能隙值则随铈掺杂量增加而减小。所有薄膜在紫外光区皆有一明显发射峰,但其强度随铈掺杂量增加而减弱;掺铈后的薄膜在绿光区与黄光区各有一明显发射峰,其强度则随铈掺杂量增加而增强。室温下薄膜的电传导机制为热激活型,而低温下则为变程跳跃型;所有薄膜皆具磁性,且其饱和磁矩随铈掺杂量增加而变大。(本文来源于《无机盐工业》期刊2019年01期）
王洪伟,林欢,董华,张敬奎,张文婵[10]（2018）在《溶胶-凝胶法氧化锌薄膜导热性能实验研究》一文中研究指出采用溶胶-凝胶法制备氧化锌前驱体溶液,用浸渍提拉法在玻璃纤维上制备厚度分别为39和17 nm的氧化锌薄膜,利用瞬态电热技术测量得到100和200℃退火温度下氧化锌薄膜沿面内方向的导热系数,并对影响结果的因素进行分析。实验结果表明,前驱体溶液浓度增加,氧化锌薄膜导热系数变大,且100℃退火下氧化锌薄膜的导热系数大于200℃退火下导热系数。(本文来源于《太阳能学报》期刊2018年12期）
氧化锌薄膜论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
本文提出了一种利用表面活性剂钝化和电子载流子掺杂来调制钴掺杂氧化锌稀磁半导体薄膜固有铁磁性的"双重操纵效应"新方法.第一性原理计算表明,氢表面钝化作为薄膜表面Co-O-Co磁耦合的磁开关,可以控制掺杂钴原子的自旋极化.同时,电子载流子掺杂可以进一步用作类层状铁磁性媒介来调节薄膜内部原子层的铁磁性.该双重操纵效应揭示了n型钴掺杂氧化锌稀磁半导体薄膜的本质铁磁性来源,并且还有可能用作其他n型稀磁半导体氧化物薄膜增强铁磁性的替代策略.
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
氧化锌薄膜论文参考文献
[1].陈熙,段力,翁昊天,付学成,杨志.氧化锌薄膜体声波谐振器制作重复性和均匀性[J].微纳电子技术.2019
[2].车伟,苏徽,赵旭,程位任,刘庆华.表面活性剂和n型载流子对钴掺杂氧化锌薄膜铁磁性的双重调控（英文）[J].ChineseJournalofChemicalPhysics.2019
[3].莫观孔,刘家辉,邹卓良,唐子媚,刘宇伦.脉冲激光沉积法制备低阻掺镓氧化锌薄膜及其光电性能[J].中国激光.2019
[4].张志秦,胡跃辉,张效华,胡克艳,陈义川.调制溅射功率对掺镓氧化锌薄膜光电性能影响[J].陶瓷学报.2019
[5].左宇杰.富勒烯溶液和掺铝氧化锌薄膜的光限幅效应研究[D].南京航空航天大学.2019
[6].钟志有,朱雅.不同压强下制备镓-镁共掺杂氧化锌薄膜的性能研究[J].中南民族大学学报(自然科学版).2019
[7].姜瑷珂.基于氧化锌薄膜晶体管的透明指纹识别系统和算法[D].浙江大学.2019
[8].郭德双,陈子男,王登魁,唐吉龙,方铉.退火温度对铝掺杂氧化锌薄膜晶体质量及光电性能的影响[J].中国激光.2019
[9].解旭东.旋涂法制备铈掺杂氧化锌薄膜的特性分析研究[J].无机盐工业.2019
[10].王洪伟,林欢,董华,张敬奎,张文婵.溶胶-凝胶法氧化锌薄膜导热性能实验研究[J].太阳能学报.2018
标签：薄膜体声波谐振器(FBAR); 氧化锌(ZnO); 谐振频率; 射频磁控溅射;