论文摘要
随着半导体器件的迅速发展，半导体器件的计量测试在器件的研制和应用中占有重要的地位。通过各种工艺制成的器件，最终检验其性能的优劣就是通过对器件的参数测试来完成的。在器件的应用中必须提供器件的特性参数才能进行要求的电路设计，从而实施电路的结构和装调。基于负载／源牵引法的微波大功率自动测试系统能使用户在完全真实的情况下将已知的负载／源阻抗加到被测器件，从而找到被测器件参数的各种变化和最佳值。 本文主要介绍微波大功率自动测试系统的研制以及测试系统的实际应用，其中对于测试系统的核心部件——自动调配器的研究工作进行了扩展，包括滑块结构对反射系数的影响，以及利用不同双滑块进行频带的扩展两个方面。本文首先介绍了负载牵引法的重要性以及微波大功率自动测试系统研制的必要性。其中较为详细的介绍了测试系统的搭建，自动调配器的校准软件，以及系统的测试软件。最后介绍微波大功率自动测试系统的实际应用，其中主要是功率器件的参数测试，包括输入输出阻抗，交调，功率增益等，并将测试系统的应用延伸到了振荡器的频率牵引。 本项目是与中国电子科技集团第4l研究所共同合作完成的。该项目已于2006年12月4日通过专家组的验收。但目前测试系统仍然存在一些测试软件方面的不足。
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标签：器件参数论文; 负载牵引论文; 自动调配器论文; 微波大功率自动测试系统论文;