本文主要研究内容
作者马启坤,赵桂洁,宋东明,陈丽娟,张健雄（2019）在《数值建模在电子级多晶硅制备中的应用》一文中研究指出：利用化工模拟软件建立还原炉数值模型,通过还原炉炉内在各种条件下的温度场、流场模拟测试,得出最佳的运行工艺参数,形成完整的还原运行曲线。经实践检验,利用模拟工具得出的运行参数有利于电子级多晶硅的制备,建模工作在电子级多晶硅的生产上取得了很好的效果。
Abstract
li yong hua gong mo ni ruan jian jian li hai yuan lu shu zhi mo xing ,tong guo hai yuan lu lu nei zai ge chong tiao jian xia de wen du chang 、liu chang mo ni ce shi ,de chu zui jia de yun hang gong yi can shu ,xing cheng wan zheng de hai yuan yun hang qu xian 。jing shi jian jian yan ,li yong mo ni gong ju de chu de yun hang can shu you li yu dian zi ji duo jing gui de zhi bei ,jian mo gong zuo zai dian zi ji duo jing gui de sheng chan shang qu de le hen hao de xiao guo 。
论文参考文献
论文详细介绍
论文作者分别是来自云南冶金的马启坤,赵桂洁,宋东明,陈丽娟,张健雄，发表于刊物云南冶金2019年03期论文，是一篇关于电子级多晶硅论文,还原炉论文,数值建模论文,还原运行曲线论文,云南冶金2019年03期论文的文章。本文可供学术参考使用，各位学者可以免费参考阅读下载，文章观点不代表本站观点，资料来自云南冶金2019年03期论文网站，若本站收录的文献无意侵犯了您的著作版权，请联系我们删除。
标签：电子级多晶硅论文; 还原炉论文; 数值建模论文; 还原运行曲线论文; 云南冶金2019年03期论文;