论文摘要
本论文将讨论中心波长808nm的激光高反射膜，主要叙述了膜系的设计、膜料的选择、镀制前后的辅助工艺以及优化镀制工艺参数等方面的内容。通过对以上内容的研究和分析，设计出λ／4膜系G／（HL）8H／A，此膜系能满足在中心波长808nm处反射率大于99.5％的要求。通过对膜料的选择、组合和镀制工艺等方面的研究，尽量减少光学损耗和提高薄膜的抗激光阈值，以满足激光反射膜的特殊要求。采用电子束离子辅助蒸发系统镀制的高反射膜，经过实际测试，该反射膜激光损伤阈值大于500MW／cm2，满足课题的使用要求，并给出了实验数据和综合评价结果。