本文主要研究内容
作者孟庆远（2019）在《二硫化钨薄膜的制备及其光学性能研究》一文中研究指出：过渡金属硫族化合物（TMDCs）单层材料,具有12 e V的可调直接带隙,类石墨烯的晶体结构,因此基于该系列的材料可以组装成性能优良的平面薄膜晶体管、发光晶体管、光探测器、太阳能电池等器件。本文首先研究了大尺寸高质量WS2薄膜CVD法的可控制备,通过正交实验制备出了WS2薄膜,并且通过极差分析方法探讨了反应温度、反应时间、氩气流速、硫钨比对所制备的薄膜的面积影响。具体研究内容如下:1、首先采用普通CVD法,应用正交设计方案优化了大面积WS2薄膜的制备工艺参数,研究了优化工艺下大面积WS2薄膜的光致发光性能。研究结果表明:优化工艺参数为:生长温度830°C、生长时间10 min、氩气流速60sccm、硫钨比3:1,这组工艺条件下,衬底上生长出大面积连续的单层薄膜。温度是影响薄膜生长面积的最主要的因素,其次依次是时间、氩气流速、硫钨比。在正交实验中,反应温度800°C、反应时间20min、氩气流速60sccm、硫钨比3:1的工艺条件下,衬底上沉积了大量的三角形薄膜,单边尺寸普遍在40μm以上,最大的一个晶粒单边长度大约是50μm,是多层薄膜。生长温度830°C、生长时间10 min、氩气流速60sccm、硫钨比3:1的工艺条件下制备出的单层薄膜具备最高的发光峰强,表明该组工艺制备出的薄膜结晶质量最高。2、使用氯化钠、氯化钾辅助CVD法制备大尺寸高质量WS2薄膜,研究结果表明,金属卤化物有助于连续成膜,制备薄膜致密性较好;但辅助方法生长的薄膜多为多层WS2薄膜。使用3mg氯化钠辅助制备薄膜工艺条件下,制备出了大面积的单层薄膜,尺寸大约为53μm,是本文制备出的最大的单层单粒薄膜。
Abstract
guo du jin shu liu zu hua ge wu （TMDCs）chan ceng cai liao ,ju you 12 e Vde ke diao zhi jie dai xi ,lei dan mo xi de jing ti jie gou ,yin ci ji yu gai ji lie de cai liao ke yi zu zhuang cheng xing neng you liang de ping mian bao mo jing ti guan 、fa guang jing ti guan 、guang tan ce qi 、tai yang neng dian chi deng qi jian 。ben wen shou xian yan jiu le da che cun gao zhi liang WS2bao mo CVDfa de ke kong zhi bei ,tong guo zheng jiao shi yan zhi bei chu le WS2bao mo ,bing ju tong guo ji cha fen xi fang fa tan tao le fan ying wen du 、fan ying shi jian 、ya qi liu su 、liu wu bi dui suo zhi bei de bao mo de mian ji ying xiang 。ju ti yan jiu nei rong ru xia :1、shou xian cai yong pu tong CVDfa ,ying yong zheng jiao she ji fang an you hua le da mian ji WS2bao mo de zhi bei gong yi can shu ,yan jiu le you hua gong yi xia da mian ji WS2bao mo de guang zhi fa guang xing neng 。yan jiu jie guo biao ming :you hua gong yi can shu wei :sheng chang wen du 830°C、sheng chang shi jian 10 min、ya qi liu su 60sccm、liu wu bi 3:1,zhe zu gong yi tiao jian xia ,chen de shang sheng chang chu da mian ji lian xu de chan ceng bao mo 。wen du shi ying xiang bao mo sheng chang mian ji de zui zhu yao de yin su ,ji ci yi ci shi shi jian 、ya qi liu su 、liu wu bi 。zai zheng jiao shi yan zhong ,fan ying wen du 800°C、fan ying shi jian 20min、ya qi liu su 60sccm、liu wu bi 3:1de gong yi tiao jian xia ,chen de shang chen ji le da liang de san jiao xing bao mo ,chan bian che cun pu bian zai 40μmyi shang ,zui da de yi ge jing li chan bian chang du da yao shi 50μm,shi duo ceng bao mo 。sheng chang wen du 830°C、sheng chang shi jian 10 min、ya qi liu su 60sccm、liu wu bi 3:1de gong yi tiao jian xia zhi bei chu de chan ceng bao mo ju bei zui gao de fa guang feng jiang ,biao ming gai zu gong yi zhi bei chu de bao mo jie jing zhi liang zui gao 。2、shi yong lv hua na 、lv hua jia fu zhu CVDfa zhi bei da che cun gao zhi liang WS2bao mo ,yan jiu jie guo biao ming ,jin shu lu hua wu you zhu yu lian xu cheng mo ,zhi bei bao mo zhi mi xing jiao hao ;dan fu zhu fang fa sheng chang de bao mo duo wei duo ceng WS2bao mo 。shi yong 3mglv hua na fu zhu zhi bei bao mo gong yi tiao jian xia ,zhi bei chu le da mian ji de chan ceng bao mo ,che cun da yao wei 53μm,shi ben wen zhi bei chu de zui da de chan ceng chan li bao mo 。
论文参考文献
论文详细介绍
论文作者分别是来自西北大学的孟庆远，发表于刊物西北大学2019-10-11论文，是一篇关于化学气相沉积法论文,大面积论文,光致发光论文,拉曼光谱论文,西北大学2019-10-11论文的文章。本文可供学术参考使用，各位学者可以免费参考阅读下载，文章观点不代表本站观点，资料来自西北大学2019-10-11论文网站，若本站收录的文献无意侵犯了您的著作版权，请联系我们删除。
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