本文主要研究内容
作者陈加琪,齐润泽,冯宇飞,黄秋实,王占山（2019）在《同步辐射用Au-Pt多层薄膜反射镜》一文中研究指出：同步辐射广泛使用Au薄膜作为反射镜膜层,降低Au薄膜的粗糙度以减小散射信号仍是难点。基于国内外对Au薄膜的研究,本文采用在Au薄膜中插入Pt间隔层的方法,制备了新型Au-Pt薄膜。原子力显微镜(Atomic Force Microscope,AFM)测试结果表明:采用1 nm厚的Au膜层和1 nm厚的Pt间隔层交替制备的方法所获得的新型Au-Pt薄膜,粗糙度小于0.3 nm,明显小于传统Au薄膜的粗糙度;通过X射线衍射(X-ray Diffractometer,XRD)测试可以发现,Pt间隔层的插入能够有效抑制Au膜结晶。随着Pt间隔层插入间隔的减小,Au膜结晶程度显著降低。根据AFM测试结果,使用IMD软件计算了传统Au薄膜以及新型Au-Pt薄膜的反射率,发现新型Au-Pt薄膜反射率比传统Au薄膜略有提高,同时新型Au-Pt薄膜的表面粗糙度更小,降低了散射强度,提升了反射镜的实际性能。本文为用于同步辐射的高传输效率、高反射率的Au-Pt薄膜反射镜的制备提供了参考。
Abstract
tong bu fu she an fan shi yong Aubao mo zuo wei fan she jing mo ceng ,jiang di Aubao mo de cu cao du yi jian xiao san she xin hao reng shi nan dian 。ji yu guo nei wai dui Aubao mo de yan jiu ,ben wen cai yong zai Aubao mo zhong cha ru Ptjian ge ceng de fang fa ,zhi bei le xin xing Au-Ptbao mo 。yuan zi li xian wei jing (Atomic Force Microscope,AFM)ce shi jie guo biao ming :cai yong 1 nmhou de Aumo ceng he 1 nmhou de Ptjian ge ceng jiao ti zhi bei de fang fa suo huo de de xin xing Au-Ptbao mo ,cu cao du xiao yu 0.3 nm,ming xian xiao yu chuan tong Aubao mo de cu cao du ;tong guo Xshe xian yan she (X-ray Diffractometer,XRD)ce shi ke yi fa xian ,Ptjian ge ceng de cha ru neng gou you xiao yi zhi Aumo jie jing 。sui zhao Ptjian ge ceng cha ru jian ge de jian xiao ,Aumo jie jing cheng du xian zhe jiang di 。gen ju AFMce shi jie guo ,shi yong IMDruan jian ji suan le chuan tong Aubao mo yi ji xin xing Au-Ptbao mo de fan she lv ,fa xian xin xing Au-Ptbao mo fan she lv bi chuan tong Aubao mo lve you di gao ,tong shi xin xing Au-Ptbao mo de biao mian cu cao du geng xiao ,jiang di le san she jiang du ,di sheng le fan she jing de shi ji xing neng 。ben wen wei yong yu tong bu fu she de gao chuan shu xiao lv 、gao fan she lv de Au-Ptbao mo fan she jing de zhi bei di gong le can kao 。
论文参考文献
论文详细介绍
论文作者分别是来自核技术的陈加琪,齐润泽,冯宇飞,黄秋实,王占山，发表于刊物核技术2019年03期论文，是一篇关于同步辐射论文,磁控溅射论文,薄膜论文,表面粗糙度论文,反射率论文,核技术2019年03期论文的文章。本文可供学术参考使用，各位学者可以免费参考阅读下载，文章观点不代表本站观点，资料来自核技术2019年03期论文网站，若本站收录的文献无意侵犯了您的著作版权，请联系我们删除。