本文主要研究内容
作者余军火,汪建华,罗凯,翁俊（2019）在《微波高功率对生长金刚石膜影响的研究》一文中研究指出：在实验室自制的10 kW微波等离子体化学气相沉积装置中,系统分析提高功率对生长金刚石膜的影响。利用等离子体发射光谱诊断分析高功率微波等离子体放电环境的特征,同时采用扫描电镜及Raman光谱对不同功率条件下获得的金刚石膜的形貌和质量进行表征。结果表明:微波功率的提高可以获得面积更大的强场区域,为金刚石的大面积均匀成膜提供了有利条件;同时提高微波功率可以产生更高的电子密度,激发更多的活性氢原子和有利于金刚石生长的含碳基团;在气压为15 kPa,H2/CH4流量比为200∶6 mL/min的条件下,当功率由4000上升到5000 W时,金刚石膜的质量明显得到提高;当功率升高到5500 W时,金刚石质量开始下降,出现孪晶;但在升高功率的过程中,晶粒尺寸增大的趋势没有改变。因此,提高微波功率易于活性氢原子的产生并可更为充分的活化含碳大分子基团;在本实验条件下,当微波功率为5000 W时,所制备的金刚石膜可具有较高的质量。
Abstract
zai shi yan shi zi zhi de 10 kWwei bo deng li zi ti hua xue qi xiang chen ji zhuang zhi zhong ,ji tong fen xi di gao gong lv dui sheng chang jin gang dan mo de ying xiang 。li yong deng li zi ti fa she guang pu zhen duan fen xi gao gong lv wei bo deng li zi ti fang dian huan jing de te zheng ,tong shi cai yong sao miao dian jing ji Ramanguang pu dui bu tong gong lv tiao jian xia huo de de jin gang dan mo de xing mao he zhi liang jin hang biao zheng 。jie guo biao ming :wei bo gong lv de di gao ke yi huo de mian ji geng da de jiang chang ou yu ,wei jin gang dan de da mian ji jun yun cheng mo di gong le you li tiao jian ;tong shi di gao wei bo gong lv ke yi chan sheng geng gao de dian zi mi du ,ji fa geng duo de huo xing qing yuan zi he you li yu jin gang dan sheng chang de han tan ji tuan ;zai qi ya wei 15 kPa,H2/CH4liu liang bi wei 200∶6 mL/minde tiao jian xia ,dang gong lv you 4000shang sheng dao 5000 Wshi ,jin gang dan mo de zhi liang ming xian de dao di gao ;dang gong lv sheng gao dao 5500 Wshi ,jin gang dan zhi liang kai shi xia jiang ,chu xian luan jing ;dan zai sheng gao gong lv de guo cheng zhong ,jing li che cun zeng da de qu shi mei you gai bian 。yin ci ,di gao wei bo gong lv yi yu huo xing qing yuan zi de chan sheng bing ke geng wei chong fen de huo hua han tan da fen zi ji tuan ;zai ben shi yan tiao jian xia ,dang wei bo gong lv wei 5000 Wshi ,suo zhi bei de jin gang dan mo ke ju you jiao gao de zhi liang 。
论文参考文献
论文详细介绍
论文作者分别是来自真空科学与技术学报的余军火,汪建华,罗凯,翁俊，发表于刊物真空科学与技术学报2019年05期论文，是一篇关于高微波功率论文,强场区域论文,电子密度论文,化学气相沉积论文,真空科学与技术学报2019年05期论文的文章。本文可供学术参考使用，各位学者可以免费参考阅读下载，文章观点不代表本站观点，资料来自真空科学与技术学报2019年05期论文网站，若本站收录的文献无意侵犯了您的著作版权，请联系我们删除。
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