本文主要研究内容
作者张金迪,高健,钟耿君,张揽宇,王晓亮,王佳印（2019）在《新型三自由度宏微运动平台设计与仿真分析》一文中研究指出：针对集成电路制造、超精密检测仪器及微机电系统加工制造等领域对大行程、多自由度、高速及高精度运动平台日益迫切的需求,提出一种新型大行程三自由度宏微运动平台。该平台采用直线电动机与压电陶瓷进行宏微双重驱动,采用直线光栅与平面光栅实现双闭环位置反馈与控制。基于该平台结构设计,确定其位置正解方程与位置逆解方程,并列举算例验证。基于ADAMS软件对平台进行运动仿真,分析不同驱动类型与驱动参数对运动平台位移、速度及加速度的影响。最后,针对宏微双重驱动传动的精度问题进行实验研究。结果表明,该平台运动学方程正确有效,具有较好的动态响应性与运动规划性,且该种驱动传动形式满足大行程、高速及高精度的性能要求。
Abstract
zhen dui ji cheng dian lu zhi zao 、chao jing mi jian ce yi qi ji wei ji dian ji tong jia gong zhi zao deng ling yu dui da hang cheng 、duo zi you du 、gao su ji gao jing du yun dong ping tai ri yi pai qie de xu qiu ,di chu yi chong xin xing da hang cheng san zi you du hong wei yun dong ping tai 。gai ping tai cai yong zhi xian dian dong ji yu ya dian tao ci jin hang hong wei shuang chong qu dong ,cai yong zhi xian guang shan yu ping mian guang shan shi xian shuang bi huan wei zhi fan kui yu kong zhi 。ji yu gai ping tai jie gou she ji ,que ding ji wei zhi zheng jie fang cheng yu wei zhi ni jie fang cheng ,bing lie ju suan li yan zheng 。ji yu ADAMSruan jian dui ping tai jin hang yun dong fang zhen ,fen xi bu tong qu dong lei xing yu qu dong can shu dui yun dong ping tai wei yi 、su du ji jia su du de ying xiang 。zui hou ,zhen dui hong wei shuang chong qu dong chuan dong de jing du wen ti jin hang shi yan yan jiu 。jie guo biao ming ,gai ping tai yun dong xue fang cheng zheng que you xiao ,ju you jiao hao de dong tai xiang ying xing yu yun dong gui hua xing ,ju gai chong qu dong chuan dong xing shi man zu da hang cheng 、gao su ji gao jing du de xing neng yao qiu 。
论文参考文献
论文详细介绍
论文作者分别是来自现代制造工程的张金迪,高健,钟耿君,张揽宇,王晓亮,王佳印，发表于刊物现代制造工程2019年08期论文，是一篇关于宏微运动平台论文,双闭环论文,运动学论文,仿真论文,现代制造工程2019年08期论文的文章。本文可供学术参考使用，各位学者可以免费参考阅读下载，文章观点不代表本站观点，资料来自现代制造工程2019年08期论文网站，若本站收录的文献无意侵犯了您的著作版权，请联系我们删除。
标签：宏微运动平台论文; 双闭环论文; 运动学论文; 仿真论文; 现代制造工程2019年08期论文;