本文主要研究内容
作者申玮,张文君,廉宇琦,张国军,杨华,薛晨阳,王任鑫（2019）在《高分辨率MEMS纤毛式湍流传感器》一文中研究指出：国外的剪切流传感器已经趋于成熟,但仍存在测试信息量单薄、空间分辨率不高和价格昂贵的缺点。提出了一种新型高分辨率微电子机械系统(MEMS)湍流传感器,通过MEMS工艺的微结构实现湍流传感器的高分辨率探测,同时凭借Parylene真空气相沉积技术来实现传感器在海中的绝缘性和抗腐蚀性。经过5～45℃的高低温循环实验,验证了MEMS湍流传感器在复杂环境中的可靠性,并通过实验测量得到电压形式的湍流数据。
Abstract
guo wai de jian qie liu chuan gan qi yi jing qu yu cheng shou ,dan reng cun zai ce shi xin xi liang chan bao 、kong jian fen bian lv bu gao he jia ge ang gui de que dian 。di chu le yi chong xin xing gao fen bian lv wei dian zi ji xie ji tong (MEMS)tuan liu chuan gan qi ,tong guo MEMSgong yi de wei jie gou shi xian tuan liu chuan gan qi de gao fen bian lv tan ce ,tong shi ping jie Parylenezhen kong qi xiang chen ji ji shu lai shi xian chuan gan qi zai hai zhong de jue yuan xing he kang fu shi xing 。jing guo 5～45℃de gao di wen xun huan shi yan ,yan zheng le MEMStuan liu chuan gan qi zai fu za huan jing zhong de ke kao xing ,bing tong guo shi yan ce liang de dao dian ya xing shi de tuan liu shu ju 。
论文参考文献
论文详细介绍
论文作者分别是来自微纳电子技术的申玮,张文君,廉宇琦,张国军,杨华,薛晨阳,王任鑫，发表于刊物微纳电子技术2019年11期论文，是一篇关于纤毛论文,高分辨率论文,微电子机械系统论文,湍流传感器论文,压电论文,微纳电子技术2019年11期论文的文章。本文可供学术参考使用，各位学者可以免费参考阅读下载，文章观点不代表本站观点，资料来自微纳电子技术2019年11期论文网站，若本站收录的文献无意侵犯了您的著作版权，请联系我们删除。
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