论文摘要
本文将脉冲激光液相烧蚀法和物质的相分离相结合,提出一种制备圆盘状纳米结构的新方法,成功制备出硅纳米圆盘和碳化硅纳米圆盘,并对纳米圆盘的形成机制做了相关研究,主要内容如下:(1)利用脉冲激光液相辐照SiO粉末在去离子水中的悬浮液,研究了SiO在激光引起的极端非平衡条件下的相分离过程,成功制备出硅纳米圆盘;(2)通过改变液相介质、激光脉宽、激光辐照时间和固相原料以及快速退火SiO粉等对比实验,确定了Si纳米圆盘是通过激光引起的固态相分离形成的;(3)利用脉冲激光液相烧蚀SiOC非晶粉末在去离子水中的悬浮液,成功制备出碳化硅纳米圆盘,证实激光诱导固态相分离是一种制备纳米圆盘的普适方法。
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