本文主要研究内容
作者程壑,王宾,蒋孝勇,李孟委,唐军（2019）在《基于硅纳米线检测的微加速度计设计与噪声分析》一文中研究指出：利用硅纳米线压阻系数比压敏电阻压阻系数高的特性,设计了一种基于硅纳米线的加速度计.首先对硅纳米线微加速度计结构参数进行了设计,利用ANSYS软件对微加速度计结构进行静态分析;其次利用COMSOL对硅纳米线压阻系数进行了仿真计算;最后对其总灵敏度进行计算,并对微加速度计的噪声进行了分析计算.仿真结果表明,该款硅纳米线微加速度计的理论灵敏度达到35.09 mV/g,带宽为5 784Hz,噪声为4.7μg/(Hz)(1/2).
Abstract
li yong gui na mi xian ya zu ji shu bi ya min dian zu ya zu ji shu gao de te xing ,she ji le yi chong ji yu gui na mi xian de jia su du ji .shou xian dui gui na mi xian wei jia su du ji jie gou can shu jin hang le she ji ,li yong ANSYSruan jian dui wei jia su du ji jie gou jin hang jing tai fen xi ;ji ci li yong COMSOLdui gui na mi xian ya zu ji shu jin hang le fang zhen ji suan ;zui hou dui ji zong ling min du jin hang ji suan ,bing dui wei jia su du ji de zao sheng jin hang le fen xi ji suan .fang zhen jie guo biao ming ,gai kuan gui na mi xian wei jia su du ji de li lun ling min du da dao 35.09 mV/g,dai kuan wei 5 784Hz,zao sheng wei 4.7μg/(Hz)(1/2).
论文参考文献
论文详细介绍
论文作者分别是来自中北大学学报(自然科学版)的程壑,王宾,蒋孝勇,李孟委,唐军，发表于刊物中北大学学报(自然科学版)2019年01期论文，是一篇关于微加速度计论文,硅纳米线论文,噪声分析论文,灵敏度论文,中北大学学报(自然科学版)2019年01期论文的文章。本文可供学术参考使用，各位学者可以免费参考阅读下载，文章观点不代表本站观点，资料来自中北大学学报(自然科学版)2019年01期论文网站，若本站收录的文献无意侵犯了您的著作版权，请联系我们删除。
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