电子管栅极表面处理技术的研究

论文摘要

本课题是基于整体提高电子管的质量和降低生产成本的要求,对电子管生产中的重要部分——栅极的表面处理技术进行改进和完善,主要在以下方面进行了深入研究:在钼栅极表面处理方面,主要为实现降低栅极的热电子发射和二次电子发射,通过不同工艺路线的不断试验和摸索,成功开发出栅极电泳TaC、ZrC和电镀铂黑的新工艺,使栅极的涂覆质量稳定可靠。上述几项新工艺的开发为电子管新产品的开发和老产品质量的改善奠定了良好的基础。在热解石墨栅极处理方面,主要为完全清除激光加工过程中产生的各种污物、杂质及垢块,保证热解石墨栅极内外表面的清洁度。通过开展多项工艺试验,摸索出焙烧、清洗、真空热处理等合理的工艺规范。按照这些规范处理的热解石墨栅极质量符合电子管装配的要求。上述工艺的开发成功为我公司超大功率广播发射管和出口的电子管等重点新产品的研制创造了良好的条件。

论文目录

• 第一章 前言
• 1.1 本课题研究背景
• 1.2 本课题研究的目标及意义
• 1.3 国内外发展动态和趋势
• 1.4 本课题主要研究内容
• 第二章 电子管栅极涂覆材料和工艺
• 2.1 引言
• 2.2 栅极表面涂覆材料
• 2.2.1 金
• 2.2.2 钛
• 2.2.3 锆
• 2.2.4 碳
• 2.2.5 钽
• 2.2.6 铂
• 2.3 栅极表面涂覆工艺
• 2.3.1 电镀工艺及原理
• 2.3.2 喷涂工艺
• 2.3.3 电泳工艺及原理
• 2.3.3.1 电泳原理
• 2.3.3.2 电泳液中主要成分的确定
• 2.3.3.2.1 溶剂的选择
• 2.3.3.2.2 电荷源的应用
• 2.3.3.2.3 粘结剂的确定
• 2.3.3.2.4 电泳液主要成分对沉积速度的影响
• 2.3.3.3 电泳原理小结
• 第三章 栅极电泳TAC 工艺的研究
• 3.1 引言
• 3.2 试验方法
• 3.3 试验过程
• 3.3.1 电泳配方的摸索
• 3.3.1.1 电泳液主要成分的初步确定
• 3.3.1.2 不同钼片的电泳实验
• 3.3.1.3 不同栅极的电泳试验
• 3.3.2 真空烧结规范的摸索
• 3.3.3 收缩率的确定
• 3.3.4 确定电泳后栅极最佳丝宽值及涂层重量的计算方法
• 3.3.5 电泳与喷涂栅极效果的对比
• 3.4 装管试验的结果
• 3.4.1 FC307F 的装管试验结果
• 3.4.2 FC502F 的装管试验结果
• 3.5 本章小结
• 第四章 栅极电泳ZRC 工艺的研究
• 4.1 引言
• 4.2 试验方法
• 4.3 试验过程
• 4.3.1 栅极电泳ZRC 配方的摸索
• 4.3.1.1 ZrC 粉的激活预处理
• 4.3.1.2 电泳模具极间距离的确定
• 4.3.1.3 栅极电泳配方与参数的确定
• 4.3.2 真空烧结ZRC 工艺的确定
• 4.3.3 收缩率与电泳后最佳丝宽及重量值的确定
• 4.4 装管试验的结果
• 4.5 自动电泳的初步试验
• 4.6 本章小结
• 第五章 栅极电镀铂黑工艺的研究
• 5.1 引言
• 5.2 试验方法
• 5.3 试验过程
• 5.3.1 电镀铂黑配方的初步摸索实验
• 5.3.2 电镀主要参数的确定
• 5.3.3 电镀铂黑工艺的确定
• 5.3.3.1 影响电镀铂黑效果的因素
• 5.3.3.2 栅极电镀铂黑工艺
• 5.3.4 真空烧结规范的摸索
• 5.3.5 收缩率与电镀铂黑后最佳丝宽值的确定
• 5.4 实验结果
• 5.4.1 铂黑涂覆层分析的结果
• 5.4.2 装管实验的结果
• 5.4.3 与普通镀铂工艺比较的结果
• 5.5 本章小结
• 第六章 栅极表面处理不同工艺路线的研究
• 6.1 电镀铂黑取代普通镀铂
• 6.2 “电泳TAC 或ZRC+电镀铂黑”取代“喷涂TAC+电镀铂”
• 6.3 结论
• 第七章 激光加工热解石墨栅极的表面处理
• 7.1 前言
• 7.2 试验方法
• 7.3 试验过程
• 7.3.1 焙烧最佳温度的试验摸索
• 7.3.2 焙烧工艺和工具的改进
• 7.3.3 焙烧预处理和焙烧后处理工艺的完善
• 7.4 实验结果
• 7.5 本章小结
• 第八章 全文总结
• 8.1 主要研究成果
• 8.2 主要创新点
• 8.3 下一步研究工作的打算和目标
• 致谢
• 参考文献
• 攻硕期间取得的成果