导读:本文包含了步骤和方式论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:刻蚀,去静电,等离子体,残存电荷
步骤和方式论文文献综述写法
马宏潇,厉渊,徐旻[1]（2019）在《一种优化等离子体刻蚀工艺去静电步骤的方式》一文中研究指出该文研究并优化了等离子体刻蚀后、去静电过程中等离子体辅助晶片去静电的工艺步骤。通过数据模拟和实验设计,研究了极板间距、反应室压力、射频电源功率和射频电源关闭方式对晶片残存电荷的影响。首先,采用基于蒙特卡罗随机数方法的应用软件Pegasus对去静电过程中反应室内的等离子体分布进行了模拟,研究了等离子体能量分布图并分析了极板间距与等离子体分布均一性的关系,得到最佳极板间距范围。其次,以反应室压力、射频电源功率与极板间距为实验变量,通过实验设计得到残余电荷量最少的实验组。最后,以该实验组为基础,对射频电源的关闭方式进行优化,通过检测晶片脱离吸附装置时的电势差,得到最优射频电源关闭方式。该文研究结果可用于优化晶片去静电步骤,进而提高工艺可靠性和产品良率。(本文来源于《集成技术》期刊2019年02期）
何明[2]（2017）在《高中数学考试命题的原则、步骤和方式》一文中研究指出高中数学考试命题的原则主要有基础性原则、科学性原则、公平性原则、创新性原则。步骤主要是:学习《考试说明》;拟定命题计划,确定双向细目表;创编试题;审题。方式主要是原创和改编,而改编的方法主要有:同条件,探结论多种;弱条件,使结论多样;依事实,作迁移推广。(本文来源于《教育研究与评论(中学教育教学)》期刊2017年01期）
赵明釜[3]（2016）在《秋季老残牛的育肥方式及步骤分析》一文中研究指出对于老残牛而言,合理的育肥能够将牛的生产性能最大程度发挥,在牛达到十岁以上时加强育肥可提升其经济价值。在秋末冬初阶段,由于气候适宜且此阶段饲料、饲草充足,因此将其定义为老残牛育肥的最佳时间段。这一时期市场上的残牛、瘦牛、弱牛、老牛价格不高,但经过精心饲养,牛的体重显着增长后再次出售可达到较可观的经济收入。本文以秋季老残牛的育肥为切入点,研究了育肥方法、注意事项以及育肥步骤。(本文来源于《农技服务》期刊2016年14期）
张燕[4]（2016）在《判断遗传病遗传方式的叁步骤》一文中研究指出学生很难掌握人类遗传病遗传方式的判定及有关概率的计算等相关问题。基于此,笔者判断遗传病遗传方式的叁个步骤。遗传病分成细胞质基因控制和细胞核基因控制两大类,前者遗传方式是母系遗传,后者根据基因的显隐性和基因的位置分为五类,分别是伴Y染色体遗传病、常染色体隐性遗传病、常染色体显性遗传病、伴X染色体隐性遗传病、伴X染色体显性遗传病。判断遗传病的遗传方式具体步骤如下:一、判定是否为母系遗传(本文来源于《知识窗(教师版)》期刊2016年08期）
高雪平[5]（2015）在《小学语文自主探究性学习方式的操作步骤》一文中研究指出学生是教学活动的主体,通过教师的引导让学生学会自己学习,是教育的最终目的。在小学语文教学中如何发挥学生的主体作用,实行自主探究性的学习方式?本文作者结合自身教学实践,谈了具体的操作步骤。(本文来源于《中华少年》期刊2015年29期）
[6]（2015）在《采取两步骤叁比对四核查方式 开展农作物良种补贴面积审核工作》一文中研究指出按照财政部办公厅、农业部办公厅《关于核实上报2014年农作物良种补贴面积的通知》要求,我办采取两步骤、叁比对、四核查方式,对四川省财政厅和农业厅上报的农作物良种补贴面积(以下简称"补贴面积")进行了审核。第一步:数据分析叁比对(一)与近叁年补贴面积数据比对。为掌握全省农作物良种种植的变化状况,我办将全省补贴面积上报数据与近几年上报数据进行了比对,即将四川省2012年至2014年(本文来源于《预算管理与会计》期刊2015年07期）
游晓艳,卢哲,张正娟[7]（2014）在《浅谈边疆地区语文教学中渗透德育的方式、方法和步骤》一文中研究指出德育是一个十分庞杂的系统教育,语文教学中处处皆可见:忠、孝、礼、仪……其源泉犹如涓涓之流水,散落于语文教学中,不可计数。尽管语文课堂教学是德育主干线,但由于语文教材是按照知能训练需要而编排的,这其间的德育因素与德育训练系统先后不一致,深浅不相同。因此,语文教学中的德育只能是一点一滴的积累,不能追求自成一整体。故结合学科特点,联系学生思想实际来进行。语文学科,不仅要传授文化知识,还要弘扬古今中外的优秀道德品质,肩负着双重的任务。(本文来源于《中国校外教育》期刊2014年S3期）
徐文彬,李一鹏[8]（2014）在《把握好气象改革的步骤步伐和方式》一文中研究指出本报讯 徐文彬 李一鹏报道12月5日，中国气象局党组书记、局长、局党组全面深化气象改革领导小组组长郑国光主持召开全面深化气象改革领导小组第11次会议，学习领会中央全面深化改革领导小组第七次会议精神。中国气象局党组副书记、副局长、局党组全面深化气象改革(本文来源于《中国气象报》期刊2014-12-08）
诸海明[9]（2014）在《“叁阶段、十步骤”教研方式的型与效》一文中研究指出一、教研前的"充分准备"步骤1:确定研讨活动的教材。参加活动的各个团队,会把教学中遇到的一些不敢教、教不好、不知道怎么教的内容记录下来,成为日后研讨活动的"题材库"。例如,本次活动的"二年级直跑屈腿跳高"教材,就是根据日常教学中水平一的学生该怎么体现"以趣激学,以练代教"的疑问展开的;还有"五年级的排球正面下手(本文来源于《中国学校体育》期刊2014年08期）
孙洪建[10]（2014）在《定量方式确定商业秘密信息等级的方法与步骤研究》一文中研究指出当前商业秘密密级确定工作主要依靠从业人员对保密工作和待定密事项的了解,受主观认识、工作经历、工作岗位、专业培训影响较大。采取定量方式确定商业秘密信息等级可以最大限度提高定密工作的客观性,减少个人主观意志对定密工作的影响,避免定密失误给企业带来经济损失。(本文来源于《保密科学技术》期刊2014年07期）
步骤和方式论文开题报告范文
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
高中数学考试命题的原则主要有基础性原则、科学性原则、公平性原则、创新性原则。步骤主要是:学习《考试说明》;拟定命题计划,确定双向细目表;创编试题;审题。方式主要是原创和改编,而改编的方法主要有:同条件,探结论多种;弱条件,使结论多样;依事实,作迁移推广。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
步骤和方式论文参考文献
[1].马宏潇,厉渊,徐旻.一种优化等离子体刻蚀工艺去静电步骤的方式[J].集成技术.2019
[2].何明.高中数学考试命题的原则、步骤和方式[J].教育研究与评论(中学教育教学).2017
[3].赵明釜.秋季老残牛的育肥方式及步骤分析[J].农技服务.2016
[4].张燕.判断遗传病遗传方式的叁步骤[J].知识窗(教师版).2016
[5].高雪平.小学语文自主探究性学习方式的操作步骤[J].中华少年.2015
[6]..采取两步骤叁比对四核查方式开展农作物良种补贴面积审核工作[J].预算管理与会计.2015
[7].游晓艳,卢哲,张正娟.浅谈边疆地区语文教学中渗透德育的方式、方法和步骤[J].中国校外教育.2014
[8].徐文彬,李一鹏.把握好气象改革的步骤步伐和方式[N].中国气象报.2014
[9].诸海明.“叁阶段、十步骤”教研方式的型与效[J].中国学校体育.2014
[10].孙洪建.定量方式确定商业秘密信息等级的方法与步骤研究[J].保密科学技术.2014