论文摘要
Active层成膜Particle所产生的点类缺陷是造成TFT产品良率损失的最大项不良,这也是目前TFT制造工厂所共同面对的难题。PECVD设备制造厂家也在不断地通过优化结构设计、提升设备性能来降低成膜过程中设备所产生的Particle,虽然已取得了一些进展,但结果仍不能令人满意。本文首先介绍了PECVD设备的结构和成膜工艺,并重点介绍了Active层“三层薄膜结构”及成膜工艺；随后按Particle在Active层薄膜中的位置,区分为膜上、膜中和膜下三种,并对其成分和来源分别进行了分析；最后通过实验,对影响Active层成膜Particle产生的多种因素进行了研究,并给出了降低Active层成膜Particle的多种有效控制方案。文中关于Active层成膜Particle的分析和研究内容均来源于上海天马微电子有限公司TFT工厂量产线,对同行TFT制造工厂的品质管理和良率提升有极高的指导价值。
论文目录
相关论文文献
- [1].干热改性葛根淀粉成膜工艺的研究[J]. 安徽农业科学 2017(09)
- [2].超轻镁合金硅烷膜成膜工艺参数的正交优化[J]. 时代农机 2017(02)
- [3].镀锌板铈钼复合成膜工艺及其耐蚀性能[J]. 腐蚀与防护 2010(05)
- [4].煤直接液化污水深度处理工程运行研究[J]. 中国煤炭 2014(S1)
- [5].集成膜工艺在水产加工副产物高值化开发中的应用研究进展[J]. 食品工业科技 2012(16)
- [6].复方大黄烫伤喷膜的制备工艺优选[J]. 时珍国医国药 2016(08)
- [7].一体化触控技术用ITO薄膜的一次成膜工艺研究[J]. 真空 2017(04)
- [8].AZ31镁合金化学成膜工艺及性能研究[J]. 铸造技术 2017(09)
- [9].增强微胶囊在血液中稳定性的研究[J]. 现代生物医学进展 2015(10)
- [10].不同成膜工艺对PCL结晶及微生物降解性能的影响[J]. 高分子材料科学与工程 2012(01)
- [11].AZ31镁合金稀土转化成膜工艺研究[J]. 化学工程师 2009(08)
- [12].铝表面非铬化学转化膜的成膜工艺[J]. 材料保护 2008(07)
- [13].乳清浓缩蛋白可食用膜成膜工艺的研究[J]. 食品与发酵工业 2008(01)
- [14].响应面分析法优化脐橙渣纸型食品成膜工艺[J]. 中国食品学报 2014(12)
- [15].跌打损伤涂膜剂的优选工艺及质量控制[J]. 中国中医骨伤科杂志 2009(08)
- [16].涂装工艺[J]. 涂料技术与文摘 2015(04)
- [17].金属表面自组装成膜工艺优选[J]. 材料保护 2011(08)
- [18].铝稀土钝化技术研究进展[J]. 材料开发与应用 2008(05)
- [19].优化快速成膜工艺中的前驱体组分以制备致密、稳定的钙钛矿薄膜（英文）[J]. Science China Materials 2017(07)
- [20].钢铁表面化学吸附成膜工艺[J]. 电镀与涂饰 2012(04)
- [21].畜禽副产物资源利用中的膜技术应用[J]. 中国食品学报 2012(10)
- [22].乳清分离蛋白成膜工艺的研究[J]. 食品工业科技 2010(06)
- [23].超滤和活性炭组合工艺流程位置的优化试验研究[J]. 能源环境保护 2016(04)
- [24].水性免中涂工艺的色漆一遍成膜的技术研究[J]. 现代涂料与涂装 2014(07)
- [25].铝合金上低温钛锆转化膜快速成膜工艺[J]. 电镀与涂饰 2020(13)
- [26].高性能膜材料可实现高选择性的化学品分离[J]. 山东陶瓷 2016(02)
- [27].采用高效纳滤-低压反渗透集成膜工艺的海水淡化研究[J]. 膜科学与技术 2016(03)
- [28].功能性可食性复合蛋白膜的研究进展[J]. 塑料包装 2018(01)
- [29].成膜温度对转化膜性能的影响[J]. 材料热处理学报 2013(11)
- [30].稀土转化膜制备工艺的优化及其在金属防腐中的应用[J]. 内蒙古石油化工 2013(24)
标签：等离子体论文;