近柱面干涉检测研究

论文摘要

干涉检测是近柱光学面制造过程中的重要环节。本文通过Zemax 和Matlab 仿真,对近柱面正入射式干涉检测中的若干问题进行了深入研究。内容主要涉及到近柱面检测装置的特性分析和优化、曲面拟合法处理波像差的精度特性研究和提高精度的方法等。具体内容包括: 1、利用Zemax 构造检测装置模型。该模型可有效模拟各种近柱二次曲面的正入射式检测。2、深入分析正入射式检测装置下的近柱面干涉图特性,并以此为基础研究了近柱面的可检性。3、探讨离焦量和倾斜量的调整对近柱面检测装置的优化作用,以及此类优化的局限性。4、编制曲面拟合法处理波像差数据的Matlab 仿真软件。5、研究拟合参数同曲面拟合法的拟合效果之间的相关性,以此为着眼点讨论曲面拟合法处理波像差数据的精度特性。6、发展了最佳拟合阶数的确定方法以提高曲面拟合法处理波像差数据的精度。对以上各项内容的深入研究,一方面有助于提高对近柱面正入射式检测技术的认识水平;另一方面,本文在近柱面可检性、检测装置优化方案、曲

论文目录

• 摘要
• Abstract
• 第一章 引言
• 1.1 Woltet-I 型X 射线望远镜与近柱面
• 1.1.1 Wolter-I 型X 射线望远镜
• 1.1.2 近柱面的定义
• 1.2 近柱面检测方法
• 1.3 课题的提出和本文主要工作
• 第二章 检测装置模拟与优化
• 2.1 菲索干涉仪检测近柱面的装置和原理
• 2.2 干涉检测装置的模拟
• 2.2.1 采用多重结构技术构造检测装置
• 2.2.2 Fizeau 干涉仪的模拟
• 2.2.3 被检区外形和面积的设定
• 2.3 近柱面干涉图的特性
• 2.3.1 柱面和典型近柱面的干涉图比较
• 2.3.2 不同近柱面面形的干涉图
• 2.4 检测装置优化设计
• 2.4.1 调整离焦量优化检测装置
• 2.4.2 调整倾斜角优化检测装置
• 2.4.3 优化的局限性与近柱面可检性分析
• 2.5 近柱面检测中的误差来源
• 第三章 曲面拟合法处理波像差数据的精度问题研究
• 3.1 曲面拟合法处理波像差数据简介
• 3.2 曲面拟合法处理波像差的模拟
• 3.2.1 模拟的主要步骤
• 3.2.2 Matlab 仿真分析软件
• 3.3 曲面拟合法处理波像差的精度特性
• 3.3.1 拟合阶数n 对精度的影响
• 1和W₂ 下曲面拟合法的精度'>3.3.2 不同W₁和W₂下曲面拟合法的精度
• 0 的确定'>3.4 最佳拟合阶n₀的确定
• 3.4.1 方法一
• 3.4.2 方法二
• 第四章 总结和展望
• 参考文献
• 致谢
• 谢本超个人简历
• 谢本超在攻读硕士学位期间发表的论文目录
• 硕士学位论文原创性声明