本文主要研究内容
作者李俊丽（2019）在《一种主动隔振系统速度传感器信号控制器设计》一文中研究指出：主动隔振技术比被动隔振技术能够获得更大的隔振带宽及更小的振动传递率,主动隔振器广泛用于IC制造设备和高精密测量设备,其隔振性能直接影响到这些设备的加工或测量精度。速度传感器是主动隔振系统的重要组成部分,影响振动主动控制的精度和带宽。为了实现速度传感器的低频测振功能,采取速度传感器信号调理技术对低频进行拓展,基于滞后校正原理及其幅频特性,设计了速度传感器信号调理器,通过理论计算及仿真分析,有效实现了速度传感器的低频扩展。为超精密主动隔振系统提供了确实可行的速度传感器信号调理解决方案。
Abstract
zhu dong ge zhen ji shu bi bei dong ge zhen ji shu neng gou huo de geng da de ge zhen dai kuan ji geng xiao de zhen dong chuan di lv ,zhu dong ge zhen qi an fan yong yu ICzhi zao she bei he gao jing mi ce liang she bei ,ji ge zhen xing neng zhi jie ying xiang dao zhe xie she bei de jia gong huo ce liang jing du 。su du chuan gan qi shi zhu dong ge zhen ji tong de chong yao zu cheng bu fen ,ying xiang zhen dong zhu dong kong zhi de jing du he dai kuan 。wei le shi xian su du chuan gan qi de di pin ce zhen gong neng ,cai qu su du chuan gan qi xin hao diao li ji shu dui di pin jin hang ta zhan ,ji yu zhi hou jiao zheng yuan li ji ji fu pin te xing ,she ji le su du chuan gan qi xin hao diao li qi ,tong guo li lun ji suan ji fang zhen fen xi ,you xiao shi xian le su du chuan gan qi de di pin kuo zhan 。wei chao jing mi zhu dong ge zhen ji tong di gong le que shi ke hang de su du chuan gan qi xin hao diao li jie jue fang an 。
论文参考文献
论文详细介绍
论文作者分别是来自电子工业专用设备的李俊丽，发表于刊物电子工业专用设备2019年03期论文，是一篇关于主动隔振装置论文,信号调理论文,速度传感器论文,低频扩展论文,电子工业专用设备2019年03期论文的文章。本文可供学术参考使用，各位学者可以免费参考阅读下载，文章观点不代表本站观点，资料来自电子工业专用设备2019年03期论文网站，若本站收录的文献无意侵犯了您的著作版权，请联系我们删除。
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