回转式精密合成碳膜电位器阻体线性修刻技术研究

论文摘要

回转式精密合成碳膜电位器阻体线性修刻技术研究旨在提高电位器的线性精度和修刻系统的修刻速度。本文在研究国内外修刻技术的基础上,通过分析精密合成碳膜电位器的修刻工艺特点,结合修刻系统的功能需求,完成了合成碳膜电位器修刻系统的关键技术的研究。具体包括以下工作:1通过分析系统的功能需求,完成了软件系统的整体规划。并对其中的主要模块进行了分析,介绍了其实现的方法。2分析电压分布规律运用数学知识,结合数控技术的研究,找出并消除了系统的干扰,完成了精密回转式合成碳膜电位器阻体修刻技术的一项关键技术——电压采集技术的研究。3通过分析合成碳膜电位器的输出特性,结合本文所选用的修刻原理,完成了修刻所需的修刻参数的设计,其中包括修刻参考目标直线的建立,搜索零位算法等关键技术。4通过修刻实例对电位器修刻机上的实际工作流程进行了介绍。5还对电位器线性度评价方法进行了分析,指出了端基线性度评价方法的影响因素和局限,最后还分析了毛坯质量对检测和修刻的影响。在用斜率逼近法找到的有效角度内,采用所确定的合适的修刻参数,可以修刻出独立线性为0.1%的电位器。

论文目录

• 中文摘要
• ABSTRACT
• 第一章 绪论
• 1.1 课题研究背景和意义
• 1.2 国内外发展状况
• 1.2.1 合成碳膜电位器
• 1.2.2 国内发展状况
• 1.2.3 国外发展状况
• 1.3 本文主要内容
• 第二章 系统软件开发
• 2.1 概述
• 2.2 系统软件规划
• 2.3 主要模块的功能
• 2.3.1 人机交互模块
• 2.3.2 修刻模块
• 2.3.3 I/O 模块
• 2.3.4 电压采集模块
• 2.4 本章 小结
• 第三章 电压的采集及处理
• 3.1 概述
• 3.2 电压分布规律及数字滤波
• 3.2.1 电压分布规律
• 3.2.2 采集电压的数字滤波
• 3.3 干扰及干扰消除
• 3.3.1 干扰的寻找
• 3.3.2 干扰的消除
• 3.4 本章 小结
• 第四章 修刻参数的确定
• 4.1 概述
• 4.2 有效角度
• 4.2.1 合成碳膜电位器的零位特征
• 4.2.2 搜索零位算法
• 4.3 修刻量
• 4.3.1 目标直线简介
• 4.3.2 修刻参考目标直线的建立
• 4.3.3 进刀量的确定
• 4.3.4 逼近精度
• 4.4 延时处理
• 4.5 修刻步长的确定
• 4.6 本章 小结
• 第五章 修刻实例
• 5.1 概述
• 5.2 电位器阻体修刻的具体实现
• 5.3 电位器修刻结果
• 5.4 本章 小结
• 第六章 电位器线性度评价及误差分析
• 6.1 概述
• 6.2 线性度评价方法
• 6.3 误差分析
• 6.3.1 毛坯质量的影响
• 6.3.2 其他因素的影响
• 6.4 本章 小结
• 第七章 结论与展望
• 7.1 全文总结
• 7.2 本文的创造性工作
• 7.3 未来展望
• 参考文献
• 附录一 电位器前后零位突跳电阻
• 致谢