Ga2O3：Mn电致发光薄膜的制备及其特性研究

论文题目: Ga2O3：Mn电致发光薄膜的制备及其特性研究

论文类型: 硕士论文

论文专业: 微电子学与固体电子学

作者: 张修太

导师: 黄蕙芬

关键词: 薄膜电致发光,电子束蒸发,晶体结构,表面形貌

文献来源: 东南大学

发表年度: 2005

论文摘要: 随着电子信息技术、军事技术和航空航天技术的发展,人们对作为人机交互界面的显示器的要求也越来越高,平板化、低能耗和健康环保是未来显示技术发展的方向。无机交流薄膜电致发光（TFEL）显示器件以其全固态、主动发光、视角大、响应速度快、环境适应性强等优点正得到人们的广泛关注,特别是氧基交流薄膜电致发光器件,其热化学稳定性好、寿命长、显示性能优越,具有广阔的应用前景。本课题主要研究了Ga2O3:Mn电致发光薄膜的制备技术和热处理技术及其发光性能。采用电子束蒸发技术制备了Ga2O3:Mn薄膜。结合表面形貌、显微结构等微结构分析和折射率测量,研究了Ga2O3:Mn薄膜的微结构和发光性能与其制备工艺和热处理工艺之间的关系,进行了工艺优化,确定了良好的制备工艺和热处理工艺参数。制备出了具有较好发光性能的以BaTiO3陶瓷片为基片的Ga2O3:Mn薄膜电致发光器件。研究结果表明:热处理温度对Ga2O3:Mn薄膜的结晶结构、结晶取向具有重大影响。随着热处理温度的提高,Ga2O3:Mn薄膜的结晶度逐渐提高,Ga2O3:Mn薄膜由非晶态逐渐转变为多晶态,由低温热处理时的单斜、六角和立方等混合晶系结构逐渐转变为以单斜晶系为主的晶体结构。Ga2O3:Mn薄膜电致发光器件发绿光,其发射光谱主峰在490nm～535nm之间,且随着驱动电压的增加,发射光谱有蓝移现象。Ga2O3:Mn薄膜电致发光器件的发光性能,不仅与Ga2O3:Mn薄膜的结晶度有关,而且更取决于膜的晶体结构和结晶取向。

论文目录:

摘要

ABSTRACT

第一章绪论

1.1 引言

1.2 电致发光显示器件的历史与现状

1.3 本课题研究内容与目标

第二章无机交流薄膜电致发光原理

2.1 引言

2.2 薄膜电致发光器件的结构

2.3 电致发光的理论基础

2.4 薄膜电致发光器件的发光机理

第三章 Ga_2O_3:Mn 电致发光薄膜的制备与表征

3.1 引言

3.2 Ga_2O_3:Mn薄膜的制备装置

3.3 Ga_2O_3:Mn 薄膜的沉积

3.4 Ga_2O_3:Mn 薄膜的热处理

3.5 Ga_2O_3:Mn 薄膜的表征

第四章 Ga_2O_3:Mn 薄膜电致发光器件及其发光特性研究

4.1 Ga_2O_3:Mn 薄膜电致发光器件的结构

4.2 Ga_2O_3:Mn 薄膜电致发光器件的制备

4.3 Ga_2O_3:Mn 薄膜电致发光器件的发光特性

4.4 Ga_2O_3:Mn 薄膜电致发光器件发光特性的测试

第五章结果与讨论

5.1 Ga_O_3:Mn 电致发光薄膜的折射率和厚度分析

5.2 Ga_O_3:Mn 电致发光薄膜的表面形貌分析

5.3 Ga_O_3:Mn 电致发光薄膜的结晶结构分析

5.4 Ga_O_3:Mn 电致发光薄膜发光性能分析

第六章结论

致谢

参考文献

发表论文

发布时间: 2007-06-11

参考文献

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