本文主要研究内容
作者靳霄曦,徐伟,魏汝省,王英民（2019）在《高线速下碳化硅单晶的快速平坦化切割》一文中研究指出：碳化硅单晶材料硬度很高,用传统的切片方式难以加工、效率低下,多线切割是加工硬脆材料的有效方式,文章通过使用电镀金刚石线多线切割设备,进行了高线速度条件下快速碳化硅单晶平坦化切片实验。为提高碳化硅切割效率,通过提高金刚石线速度,成功实现了用5.5小时进行4英寸碳化硅晶锭的切割,并将切割6英寸晶锭时间缩短至12小时左右。同时,为减小切割片翘曲度,进行了4英寸和6英寸碳化硅晶锭的切割试验,证明切割线速度直接影响切割片的翘曲度:随着线速度增大,晶片翘曲度减小。最后,研究了线速度和金刚石浓度对切割片表面的影响,发现提高线速度和使用高金刚石浓度的金刚石线都可使切割导致的损伤层减小。
Abstract
tan hua gui chan jing cai liao ying du hen gao ,yong chuan tong de qie pian fang shi nan yi jia gong 、xiao lv di xia ,duo xian qie ge shi jia gong ying cui cai liao de you xiao fang shi ,wen zhang tong guo shi yong dian du jin gang dan xian duo xian qie ge she bei ,jin hang le gao xian su du tiao jian xia kuai su tan hua gui chan jing ping tan hua qie pian shi yan 。wei di gao tan hua gui qie ge xiao lv ,tong guo di gao jin gang dan xian su du ,cheng gong shi xian le yong 5.5xiao shi jin hang 4ying cun tan hua gui jing ding de qie ge ,bing jiang qie ge 6ying cun jing ding shi jian su duan zhi 12xiao shi zuo you 。tong shi ,wei jian xiao qie ge pian qiao qu du ,jin hang le 4ying cun he 6ying cun tan hua gui jing ding de qie ge shi yan ,zheng ming qie ge xian su du zhi jie ying xiang qie ge pian de qiao qu du :sui zhao xian su du zeng da ,jing pian qiao qu du jian xiao 。zui hou ,yan jiu le xian su du he jin gang dan nong du dui qie ge pian biao mian de ying xiang ,fa xian di gao xian su du he shi yong gao jin gang dan nong du de jin gang dan xian dou ke shi qie ge dao zhi de sun shang ceng jian xiao 。
论文参考文献
论文详细介绍
论文作者分别是来自超硬材料工程的靳霄曦,徐伟,魏汝省,王英民，发表于刊物超硬材料工程2019年01期论文，是一篇关于金刚石线论文,多线切割论文,碳化硅单晶论文,高线速度论文,超硬材料工程2019年01期论文的文章。本文可供学术参考使用，各位学者可以免费参考阅读下载，文章观点不代表本站观点，资料来自超硬材料工程2019年01期论文网站，若本站收录的文献无意侵犯了您的著作版权，请联系我们删除。
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