Si3N4-TiN-SiC反应烧结机理与工艺研究

Si3N4-TiN-SiC反应烧结机理与工艺研究

论文摘要

本文以TiSi2、SiC和Mo粉为原料,采用反应烧结法制备Si3N4基陶瓷。运用扫描电镜、X射线衍射、热分析仪、万能电子拉伸机和硬度等分析测试手段,优化了复合陶瓷的制备工艺,观察分析复合陶瓷的显微组织结构,测试复合陶瓷的力学性能、抗氧化性能和热震性能。通过对体系反应热力学计算发现,TiSi2和N2在2000K以下在热力学上可以发生反应,而TiSi2不分解;采用差示扫描量热法确定了TiSi2与N2的反应温度区间。随着毛坯致密度的增加,复合陶瓷的致密度先增加后减小,而TiSi2的转化率却一直下降;随着SiC含量的增加,复合陶瓷的致密度先增加后减小,致密度在SiC含量为40%时达到最大,而TiSi2的转化率随SiC含量增加而增加;此外,随着Mo含量的增加,复合陶瓷的致密度也略有增加;氮化硅相主要以针状晶粒、等轴颗粒、棒状晶粒和晶须存在,而在Si3N4-TiN-MoSi2-SiC复合陶瓷中出现弯曲的丝状Si3N4相。随着SiC含量的增加,复合陶瓷的硬度和抗弯曲强度先升高然后下降,当SiC含量为40wt%时,复合陶瓷的硬度和抗弯曲强度达到最大值,分别为HRA71和288MPa。随着Mo含量的增加,Si3N4-TiN-MoSi2-SiC复合陶瓷的硬度逐渐提高,而室温抗弯强度则是先增加后减小,当Mo含量为10wt%时,Si3N4-TiN-MoSi2-SiC复合陶瓷的抗弯强度达到最大值,为321MPa。Si3N4-TiN-SiC陶瓷的质量增量随着氧化时间的延长而增加,氧化质量增量随时间的变化基本服从抛物线规律,同时质量增量随着氧化温度的升高而增加。而Si3N4-TiN-MoSi2-SiC复合陶瓷质量增量在低温下随着时间延长而增加,在高温下质量增量随着时间的延长而减少。XRD和SEM结果表明Si3N4-TiN-SiC陶瓷的氧化产物主要是TiO2、SiO2和Si2N2O,而Si3N4-TiN-MoSi2-SiC陶瓷则是TiO2、SiO2、Si2N2O和MoO3。随着热震次数的增加,两种复合陶瓷的弯曲强度均下降,在相同的循环次数下,Si3N4-TiN- MoSi2- SiC陶瓷的抗热震性能优于Si3N4-TiN-SiC陶瓷。

论文目录

  • 摘要
  • Abstract
  • 第1章 绪论
  • 1.1 课题研究的目的和意义
  • 1.2 氮化硅陶瓷
  • 1.2.1 氮化硅陶瓷的性能
  • 1.2.2 氮化硅陶瓷的应用
  • 1.2.3 氮化硅陶瓷存在的问题及发展方向
  • 1.2.4 氮化硅陶瓷的烧结方式
  • 1.3 反应烧结氮化硅陶瓷
  • 1.3.1 反应烧结氮化硅陶瓷的工艺
  • 1.3.2 反应烧结氮化硅陶瓷的影响因素
  • 1.4 陶瓷的烧结理论
  • 1.4.1 固相烧结机理
  • 1.4.2 液相烧结机理
  • 1.4.3 反应烧结机理
  • 1.5 研究的主要内容
  • 第2章 实验材料和实验方法
  • 2.1 实验用原材料
  • 2.2 材料的制备
  • 2.2.1 原料的混合
  • 2.2.2 坯体制备
  • 2.2.3 氮化烧结
  • 2.3 组织与性能分析方法
  • 2.3.1 X射线衍射分析
  • 2.3.2 扫描电子显微分析
  • 2.3.3 差热扫描分析
  • 2.4 物理及力学性能测试
  • 2.4.1 致密度测试
  • 2.4.2 硬度测试
  • 2.4.3 抗弯曲强度测试
  • 2.4.4 氧化实验测试
  • 2.4.5 抗热震性能测试
  • 3N4-TiN-SiC陶瓷反应烧结热力学分析'>第3章 Si3N4-TiN-SiC陶瓷反应烧结热力学分析
  • 3.1 引言
  • 3.2 反应体系热力学计算
  • 2-SiC体系的DSC分析'>3.3 TiSi2-SiC体系的DSC分析
  • 3.4 工艺参数对理论转化率的影响
  • 2的转化率的影响'>3.4.1 稀释剂的含量对TiSi2的转化率的影响
  • 2转化率的影响'>3.4.2 毛坯孔隙率对TiSi2转化率的影响
  • 3.5 本章小结
  • 3N4-TiN-SiC陶瓷反应烧结工艺的研究'>第4章 Si3N4-TiN-SiC陶瓷反应烧结工艺的研究
  • 4.1 引言
  • 4.2 复合陶瓷的转化率和相对致密度
  • 4.2.1 毛坯致密度对反应烧结的影响
  • 4.2.2 SiC的含量对反应烧结的影响
  • 4.2.3 Mo的含量对反应烧结的影响
  • 4.3 复合陶瓷的微观组织观察
  • 4.4 本章小节
  • 3N4-TiN-SiC陶瓷的性能'>第5章 Si3N4-TiN-SiC陶瓷的性能
  • 5.1 引言
  • 5.2 力学性能
  • 5.2.1 硬度
  • 5.2.2 抗弯强度
  • 5.3 抗氧化性能
  • 5.3.1 氧化增重分析
  • 5.3.2 氧化层微观结构观察
  • 5.4 抗热震性能
  • 5.4.1 抗热震理论
  • 5.4.2 复合陶瓷的抗热震性能
  • 5.5 本章小结
  • 结论
  • 参考文献
  • 致谢
  • 相关论文文献

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