论文摘要
随着硅基微电子元器件集成度的不断提高,器件工艺线宽正趋于理论极限,用电子作为信息载体的微电子技术即将面临难以逾越的瓶颈。因此,用光子作为信息载体的集成光电子学成为了亟须发展的方向。其中,继承了现代大规模集成电路成熟的硅基加工技术,并兼具光子晶体完美控制光能力的硅基光子晶体器件自然的成为了研究的热点与前沿。硅基光波导是传递光子信息的通道,是硅基集成光电回路的核心基础器件。以硅基光子晶体波导为核心可以设计出各种功能各异、种类丰富的硅基光电子器件,如硅基微腔、波导、光延迟器、分束器、耦合器、调制器、探测器等,从而极大的推动硅基光电集成领域的发展。因此,本论文以硅基光子晶体为核心,在“国家重点基础研究发展计划(973计划)前期预研专项”(2006CB708310),“国家青年科学基金”(60706013),“湖北省自然科学基金重大项目”(2006ABD002),“华中科技大学自主创新究基金”(M2009026),“武汉光电国家实验室(筹)创新基金”(P080003),和“华中科技大学研究生创新基金”(HF-08-05-2011-230)等的支持下,重点进行了硅基光子晶体的光子带隙研究和新型光子晶体波导器件的机理与器件原型研究,取得了如下成果:(1)采用全三维平面波法,研究了一种新型环形孔光子晶体绝缘体二氧化硅上硅(SOI)非对称平板的光子带隙,比较了新型环形孔光子晶体平板和普通圆形孔光子晶体的带隙。通过研究发现,在很大范围的空气体积填充比内,同样空气体积填充比的优化的环形光子晶体平板和普通圆形孔光子晶体平板相比,具有更大的光子带隙。例如,对于空气填充比为15%的时候,与普通圆形孔光子晶体平板相比,在环形光子晶体平板中观察到了将近两倍的光子带隙增强。(2)讨论了硅基光子晶体波导中带边慢光的限制因素,研究了零色散型光子晶体宽带慢光波导的机理。在此基础上,设计了一种新型对称边界环宽带低色散光子晶体慢光波导。通过调节这种边界环波导环中的内径大小,可以使得光子晶体导模色散曲线中出现一个线性段,从而实现低色散宽带慢光。时域有限差分仿真表明,在一种优化的这种慢光波导中可以实现中心波长在1550纳米,带宽为2.3纳米的群折射率为74.4的慢光传输。(3)研究讨论了色散补偿型光子晶体宽带慢光波导的机理。在此基础上,设计了一种新型啁啾沟道光子晶体耦合慢光波导。通过调节这种波导的结构参数,可以获得一种理想的“座椅状”导模色散曲线。然后再对这种波导的宽度进行啁啾,可以实现宽带低色散慢光。在时域有限差分仿真实验中,成功地获得了中心波长在1550纳米,带宽为20纳米的宽带慢光传输。并且,这种波导能够在低折射率非线性材料沟道结构中实现慢光与光控制,可望用于高速光信号处理以及加强光与物质的相互作用等领域里面。(4)探讨了光子晶体的自准直原理,利用环形光子晶体比普通光子晶体多一个自由度的优势,设计了一种新型宽带偏振无关自准直波导。这种偏振无关自准直波导不但能同时工作于横电场模式和横磁场模式状态下,并且在中心波长为1550纳米时具有约102.9纳米宽的偏振无关自准直传播的带宽。因此,可以用于各种宽带的可重构波导器件和高密度光电集成器件,如偏振分束器,偏振耦合器等。
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