论文摘要
采用LB技术在石英衬底上制备出ZnO薄膜以及MgxZn1-xO薄膜,研究了ZnO及MgxZn1-xO薄膜的成膜条件和拉膜条件,并对制备的ZnO及MgxZn1-xO薄膜进行了X射线衍射分析(XRD)、紫外-可见光谱(UV-Vis)分析及原子力显微镜(AFM)的表征。对不同层数及不同Mg掺杂量对MgxZn1-xO光学性能的影响进行了探讨。通过LB膜技术,确定了较佳的亚相浓度,滑障速度,铺展液的静置时间,铺展量;在适宜的转移膜压、基片向上提拉速度、向下浸入速度,可获得转移比在1.0附近,性能稳定的硬脂酸/ZnO复合LB膜。在此基础上确定了亚相浓度,滑障速度,铺展液的静置时间,铺展量等较佳的MgxZn1-xO薄膜的成膜条件;转移膜压,基片向上提拉速度,向下浸入速度等拉膜条件,获得转移比在1.0附近,性能稳定的硬脂酸/MgxZn1-xO复合LB膜。通过热处理,获得了ZnO和MgxZn1-xO粉体及超薄膜。采用X射线衍射(XRD)检测其结晶状态,并通过紫外-可见光谱(UV-Vis)对复合LB膜的层间重叠情况进行了考查。ZnO及MgxZn1-xO复合LB膜及超薄膜的表面形貌及粒子覆盖度等信息,则通过原子力显微镜(AFM)进行了检测。采用PL光谱研究了不同层数和Mg掺杂量对ZnO及MgxZn1-xO薄膜光学性能的影响。掺入Mg后,薄膜的结晶质量提高。随着Mg的掺杂量x的增加,MgxZn1-xO薄膜的紫外发射强度增大;当x≥0.4时,紫外发射峰强度减小。在Mg掺杂量一定的情况下,随着提拉层数的提高,紫外发射峰的强度也会随之增加。
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