王冲:变倾角移相法测量反射棱镜的光学平行差论文

王冲:变倾角移相法测量反射棱镜的光学平行差论文

本文主要研究内容

作者王冲,陈磊,吴志飞,杨光,郑东晖,朱文华(2019)在《变倾角移相法测量反射棱镜的光学平行差》一文中研究指出:为解决棱镜等效展开为玻璃平板后因腔长固定导致的移相困难问题,提出一种变倾角移相测量反射棱镜光学平行差的方法。通过改变光束在反射棱镜入射端面上的倾角在干涉图中引入移相量,实现干涉图中的相位提取。采用最小二乘法拟合相位计算反射棱镜的光学平行差。在实验中,测试了一块弦长为56.5mm的等腰直角棱镜,得到直角偏差Δ90°为-2.1435″、锐角偏差δ45°为-4.6216″、直角边对应棱差γC为0.3554″,而Zygo GPI干涉仪仅可得到棱镜直角偏差,与本文方法的测量值偏差在0.15″以内。所提方法移相光路设计简便,并可实现小尺寸反射棱镜的测量。

Abstract

wei jie jue leng jing deng xiao zhan kai wei bo li ping ban hou yin qiang chang gu ding dao zhi de yi xiang kun nan wen ti ,di chu yi chong bian qing jiao yi xiang ce liang fan she leng jing guang xue ping hang cha de fang fa 。tong guo gai bian guang shu zai fan she leng jing ru she duan mian shang de qing jiao zai gan she tu zhong yin ru yi xiang liang ,shi xian gan she tu zhong de xiang wei di qu 。cai yong zui xiao er cheng fa ni ge xiang wei ji suan fan she leng jing de guang xue ping hang cha 。zai shi yan zhong ,ce shi le yi kuai xian chang wei 56.5mmde deng yao zhi jiao leng jing ,de dao zhi jiao pian cha Δ90°wei -2.1435″、rui jiao pian cha δ45°wei -4.6216″、zhi jiao bian dui ying leng cha γCwei 0.3554″,er Zygo GPIgan she yi jin ke de dao leng jing zhi jiao pian cha ,yu ben wen fang fa de ce liang zhi pian cha zai 0.15″yi nei 。suo di fang fa yi xiang guang lu she ji jian bian ,bing ke shi xian xiao che cun fan she leng jing de ce liang 。

论文参考文献

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  • 论文详细介绍

    论文作者分别是来自光学技术的王冲,陈磊,吴志飞,杨光,郑东晖,朱文华,发表于刊物光学技术2019年05期论文,是一篇关于光学测量论文,变倾角移相论文,反射棱镜论文,光学平行差论文,光学技术2019年05期论文的文章。本文可供学术参考使用,各位学者可以免费参考阅读下载,文章观点不代表本站观点,资料来自光学技术2019年05期论文网站,若本站收录的文献无意侵犯了您的著作版权,请联系我们删除。

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