论文摘要
高温超导技术由于其优越性而越来越得到广泛的应用。特别是随着高温超导薄膜制备技术的不断提高,使得其在电子信息等领域中的应用前景越来越被人们看好。高温超导薄膜的微波表面电阻是衡量薄膜质量的一个重要参数指标。因此,用什么方法去测量高温超导薄膜的微波表面电阻就显得尤为重要。目前,世界上很多国家都在进行这方面的研究。本文详细介绍了用平行板法测量高温超导薄膜表面电阻的原理,建立了测试腔的模型,并对该模型进行仿真和分析。其中分别对空腔和加入平行板谐振器的腔两种情况进行了仿真分析,对其S21系数曲线图进行了对比及优化,得到了比较理想的隔片厚度尺寸和具体的耦合探针位置,并根据该优化结果设计了测试腔的加工方案,并制作出了测试腔,经实测与仿真效果吻合。本方法从开始研究至今,经历多次反复的仿真实验,解决了这种方法的耦合难的问题,成功使平行板谐振器产生了谐振效果,并把平行板谐振器的谐振频率降低到了4.7GHz,使得在低频率的矢量网络分析仪上对高温超导薄膜的测量得到了实现。
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摘要ABSTRACT第1章 引言1.1 超导研究的发展概况1.2 超导技术的优越性1.3 高温超导薄膜的发展史1.4 高温超导薄膜的制备方法1.4.1 脉冲激光沉积法1.4.2 原位磁控溅射法1.4.3 金属有机化学汽相沉积法1.5 高温超导薄膜的应用1.6 论文主要工作第2章 高温超导薄膜的理论和其微波表面电阻2.1 高温超导机理2.2 迈斯纳效应和伦敦方程2.3 二流体模型2.4 高温超导薄膜的微波表面电阻2.5 小结第3章 高温超导薄膜微波表面电阻的测试方法综述3.1 端面替代法3.2 介质谐振器法3.3 双谐振器法3.4 镜像型蓝宝石介质谐振器法3.5 平行板法3.6 HFSS仿真软件3.7 小结第4章 平板法测量超导膜的表面电阻4.1 平行板法理论4.2 平行板谐振器的结构模型4.3 高温超导薄膜表面电阻的测量4.4 高温超导薄膜表面电阻的计算和源程序4.5 小结第5章 仿真与分析5.1 空腔的仿真5.1.1 建立模型5.1.2 仿真分析5.2 加入平行板谐振器后的腔体仿真5.2.1 建立模型5.2.2 设置参数扫描5.2.3 仿真分析5.2.4 测试腔的设计与制作5.3 小结第6章 结论与展望致谢参考文献攻读学位期间的研究成果
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