论文摘要
鉴于激光位移传感器在工业生产、非接触实时测量、精确定位等领域中的实用价值,本文对基于PSD的高精度位移传感器进行研究。介绍了PSD器件的工作原理,对基于三角法测量原理的传感器主要结构参数进行了分析。并设计一种含有多种放大倍数的PSD检测电路,可实现测量中对环境变化的自适应能力。分析了电流—电压转换原理,指出转换误差主要来源于偏置电流及失调电压。最后分析了影响传感器测量精度的各种因素,并讨论了消除的方法。
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