论文摘要
本论文以2位波导电光A/D转换器的理论设计和工艺实验为目标,以计算机仿真和具体工艺实验相结合,对铌酸锂波导电光A/D转换器的光波导设计、电极优化以及电光响应等性能指标进行了详细分析。 采用有限差分束传播法(FD-BPM)优化了M-Z结构电光A/D转换器光波导结构,包括直接转向波导和Y分支波导。采用余弦弯曲Y分支波导设计2位M-Z型电光A/D转换器,并设计相应的器件版图。另外,设计了2位相位补偿型电光A/D转换器的波导结构。 本论文以美国特拉华大学提供的一个免费的保角变换工具包为基础采用保角变换方法对行波结构电光A/D转换器电极结构进行了详细的仿真分析。分析结果表明,采用低折射率的缓冲层、厚电极等方法可以在不同程度上改善A/D转换器的性能,同时它们对阻抗匹配、调制带宽和导体损耗的影响是不同的,在实际设计时应该折衷考虑。 本论文采用傅里叶变换方法定量分析了电光A/D转换器的速度失配和传输损耗对输出光脉冲(包括脉冲形状、幅度和宽度)的影响,仿真结果表明速度失配会使光脉冲峰值下降、使脉冲宽度增加,而损耗只使脉冲峰值下降,不会使脉冲展宽。另外,讨论了集总参数电极型和行波参数电极型电光A/D转换器的频率响应。 分析了影响电光A/D转换器性能其他因素,如光通过调制的渡越时间、激光脉宽、脉冲间隔抖动等;还讨论了对光功率、调制带宽及探测器噪声的要求等。另外,分析了器件温度漂移和直流漂移问题。 为了实现电光A/D转换,采用两条技术路线:1)以退火质子交换工艺为基础研究了平面波导、沟道波导,对具体的工艺流程及实验器具作了改进,并努力尝试制作出器件的核心部分。对实验中发现的新现象产生原因给出了详细的解释,并从实际工艺中摸索出了解决的办法。2)采用商用的电光调制器构成2位电光/AD转换器系统。设计并制作了探测电路,初步的实验结果证明了方案的可行性。
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