论文题目: 曲面基底衍射光学元件加工工艺研究
论文类型: 硕士论文
论文专业: 光学
作者: 康福增
导师: 卢振武
关键词: 衍射光学,加工制作,对心
文献来源: 中国科学院研究生院（长春光学精密机械与物理研究所）
发表年度: 2005
论文摘要: 本文根据衍射元件在光学系统中的特殊应用,利用本实验室的实验条件,进行了平凸型折衍混合透镜的制作研究。在制作过程中分析和研究了几何成像和利用衍射进行对准的两类方法。最后采用几何成像的方法,实现了偏心误差小于10um的对准,完成了16台阶的平凸型衍射器件的加工工作。本文同时分析了衍射器件轴外点成像时候衍射效率随着入射角变化的变化情况。分析的过程中我们采用了相对简单的标量衍射的方法,得出了如何改进衍射效率的方法。第一部分文章主要是通过总结衍射光学器件制作工艺的发展,得出了衍射器件的发展的方向。我们发现衍射器件向亚微米发展是一种必然的趋势,而发展的进程很大程度上取决于光机电的联合发展状况。第二部分文章在介绍菲涅耳透镜设计原理和衍射效率计算的基础上,重点分析了存在各种加工误差时候的衍射效率的计算情况。通过模拟分析得出了存在刻蚀深度误差、对准误差以及工作波长误差的时候衍射效率的变化情况和相关的计算方法。同时,文章采用了标量衍射方法,通过两种不同的途径,计算了衍射器件的轴外点衍射效率。
论文目录:
摘要
Abstract
第一章 引言
1.1 衍射光学发展的概况
1.2 衍射元件的制作技术
1.3 衍射光学的发展前景
第二章 衍射光学元件的衍射效率分析
2.1 菲涅耳波带（FZP）透镜的标量衍射理论
2.2 菲涅耳透镜的设计方法
2.3 存在误差时候的衍射效率
2.4 其它
2.5 轴外点衍射效率的分析
第三章 折衍混合光学系统的加工
3.1 对准问题
3.2 刻蚀工艺的研究
3.3 加工片刻蚀的结果
3.4 我们制作的衍射光学元件,用于形敏感器中的光学系统
第四章 结论
参考文献
论文发表情况
致谢
作者简介
发布时间: 2007-03-27
参考文献
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